| |
1. Napájecí jednotka:
- Přívod elektrického napájení
- Přívod procesního a chladícího plynu
- Generátor vysokého napětí
- Řídící blok plazmového proudu
- Řídící blok plynu
- Čelní panel s provozním řízením
2. Vodiče plynu a napájení ve flexibilních vedeních.
3. Plazmová jednotka: středová elektroda, vnější elektroda a izolátor tvořící oblast výboje
- Vysokonapěťový generátor přeměňuje napájecí napětí na vysoké napětí (až do
10 kV), které je nezbytné pro vytvoření elektrického výboje.
- Vysoké napětí a procesní / chladící plyny jsou do oblasti výboje dopraveny
ohebnými vodiči.
- Tok vzduch nese aktivní částice ( i+, e-, r *) tvořené v elektrickém oblouku v
oblasti výboje.
- Speciální tryska tvoří zaostřený proud aktivního plynu na povrch vzorku, který má
být ošetřen.
|
