| |
Technické údaje:
rozvaděč:
W 1000 mm, H 2.100 mm, D 1000 mm
komora:
W 400 mm, D 625 mm, H 600 mm
objem komory:
přibližně 150 litrys
zdroj plynu:
2 plynové kanály přes jehlový ventil
generátor:
40kHz/0-2500 W
(volitelně: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
vakuová pumpa:
Leybold, Typ D65B (65 m³/h)
nosiče výrobků:
up to 16 trays
(volitelně: rotační buben)
řízení:
PC řízení (Windows)
volitelné položky / příslušenství
|
|
Plasma system TETRA-150-LF pro čištění, aktivaci , leptání ve výrobě.
Šestinásobný nosič a rotační buben pro plasma system TETRA |
