| |
Naše plazmová zařízení mohou být dodána s následujícími alternativami/doplňky:
- 13,56 MHz - generátor
Aby byla dodržena norma DIN EN 55011, naše13,56 MHz - generátory jsou krystalově stabilizovány. Impedanční přizpůsobení může být pevné, manuální a automatické. Hlavními oblastmi použití jsou aktivace, čištění, leptání, polovodiče (front-end), polovodiče (back-end), plazmová polymerizace.
- 40 MHz - generátor
Impedanční přizpůsobení je možné jen automaticky, výkon existuje ve dvou provedeních. Hlavními oblastmi použití jsou aktivace, čištění, leptání, polovodiče (back-end), plazmová polymerizace.
- 2,45 MHz - generátor (mikrovlny)
Výkon dosahuje od 0-300 Watt, generátor má PC rozhraní. Hlavními oblastmi použití jsou aktivace, čištění, leptání, polovodiče (front-end), polovodiče (back-end), plazmová polymerizace.
- 2/2 cestný ventil k dávkování tekutin
entil pro cílené dávkování monomerů.
- Poloautomatické řízení
Podrobný popis našich různých variant řízení naleznete pod bodem nabídky Plazmová zařízení/Řízení/Poloautomatické řízení.
Pro zvětšení klikněte na obrázek.
- Plně automatické řízení
Podrobný popis našich různých variant řízení naleznete pod bodem nabídky Plazmová zařízení/Řízení/Plně automatické řízení.
Pro zvětšení klikněte na obrázek.
- Plně automatické řízení
Podrobný popis našich různých variant řízení naleznete pod bodem nabídky Plazmová zařízení/Řízení/Plně automatické řízení.
Pro zvětšení klikněte na obrázek.
- PCCE řízení
Na základě Windows CE s dotykovým panelem. Podrobný popis našich různých variant řízení naleznete pod bodem nabídky Plazmová zařízení/Řízení/PCCE řízení.
Pro zvětšení klikněte na obrázek.
- Filtr s aktivním uhlím
Filtr s aktivním uhlím může být jednoduše vyměněn.
- Sací filtr pro vakuum
Chrání vakuové čerpadlo před poletujícími částicemi, povlakem a před znečištěním.
- Automatická dvířka
Dvířka, která se při spuštění procesu automaticky zavřou.
- Čtečka čárových kódů
K ověřování nábojů.
- Vyhřívaná komora
Komora může být vyhřátá do cca. 80°C. Teplota je nastavitelná. Je určena pro definované podmínky procesu a vyšší stupně leptání.
- Měření napětí na elektrodě
Měření napětí na elektrodě je měřící přístroj, k dostání pro kHz a MHz generátory.
- Promývačka plynů
Promývačka plynů patří k doplňkům pro polymerizaci a je určena k připojení kapalných monomerů na vakuovou komoru. Místo jednoduché monomerové láhve se pracuje s nosným plynem. Nosný plyn, např. argon, je oplachován monomerem.
- Butterfly ventil
Butterfly ventil se používá k upravení proudu plynu,
ve vakuové technice především uvnitř sacího potrubí vakuového čerpadla. Zde je změněn průtokový odpor ve vedení zatarasením klapky, která může vedení více či méně uzavřít.
- Dokumentace v jazyce dané země
Dokumentace je vyhotovena dle směrnice o strojích 89/392/EHS. To platí také pro německý a anglický jazyk. Dokumentace není automaticky přiložena k zařízení, musí být objednána odděleně.
- Rotační buben
Druh nosiče výrobků k osazení sypkými hmotami.
- Zařízení k měření tlaku
Senzor Pirani nebo Baratron - zobrazení tlaku ve vakuové komoře.
 
- Redukční ventil
Redukční ventil je určen k připojení na plynovou láhev - 200 bar. Různé plyny potřebují různé redukční ventily. Proto existuje jeden pro vzácné plyny H2, O2, CF4, C4F8 e jeden pro NH3.
- Zařízení pro trvalý provoz
Pro integraci nízkotlakého plazmového zařízení do automatické zpracovací linky.
- Souprava náhradních dílů Standard nebo PFPE
Souprava náhradních dílů obsahuje vždy 1 objímku, 1 těsnění, 1 vlnitou trubku z ušlechtilé oceli (vakuovou hadici), 1 okenní tabuli, 1 těsnění dvířek, 10 ks jemných pojistek pro plazmová zařízení, jakož i 1 litr minerálního oleje pro vakuové čerpadlo v soupravě Standard a 1 litr oleje PFPE pro vakuové čerpadlo v soupravě PFPE.
- Tiskárna štítků
Automatický tisk štítků po ošetření plazmou.
- Čtečka štítků
K ověřování nábojů.
- Faradayova klec / klec
Pro elektricky citlivé součásti. Součásti, které mají být ošetřeny, leží ve Faradayově kleci. Ta může být vyjmuta z vakuové komory.
- Držák plynové láhve
K připevnění na pracovním stole, poličkách nebo na stěně. Rozpětí činí 70 mm. Upínací popruh jej pevně zajišťuje. Je vhodný pro všechny velikosti lahví.
- Plynové výstražné zařízení (Dräger)
Přídavná bezpečnostní varianta při používání hořlavých plynů na pracovištích.
- Topné desky
Části určené k ošetření leží na topné desce, která může být zahřátá až na max. 150°C a je vhodná pro definované podmínky procesu a vyšší stupně leptání. Existují dvě alternativy:
Vybavená ukazatelem teploty - uvnitř vakuové komory je umístěno termické čidlo, aby bylo možné měřit teplotu na povrchu součásti.
Vybavená ukazatelem teploty integrovaným do PC řízení - uvnitř vakuové komory je také umístěno termické čidlo a tak se měří teplota na povrchu součásti. Teplota se zde zobrazuje na obrazovce.
- Instalace Vašeho plazmového zařízení v místě
Tato alternativa zahrnuje cestovní a pracovní dobu, jakož i cestovní výlohy našeho servisního zaměstnance.
- Senzor měření iontového proudu
Přídavná kontrola kvality plazmy během procesu.
- Provedení korozívních plynů
Ventily z ušlechtilé oceli. Pažení z ušlechtilé oceli. Velmi nutné při plazmové polymerizaci nebo při použití korozívních plynů jako NH3, H2O, CF4, SF6.
- Nosiče výrobků podle zákazníka
Naše zařízení jsou standardně dodávána s jedním nosičem výrobků. Další nebo jiná provedení mohou být vyrobena po domluvě s Diener electronic. Pro optimální využití plazmových zařízení.
- Lakový sprej / souprava skleněných desek (LABS-free test)
Doplňky k provedení testu narušení smáčení lakem. Rozsah dodávky: Lakový sprej v konzervách, 5 kusů po 400 ml. Skleněné desky 100 kusů, 90 mm x 110 mm.
- Pomalé odsávání vakuové komory
Vakuová komora se pomalu odsává pomocí filtru. Zabraňuje se víření malých součástí v komoře.
- Pomalé odčerpávání vakuové komory
Pomalé odčerpávání vakuové komory pomocí obtokového ventilu. Zabraňuje se víření malých součástí v komoře.
- Delší vakuové komory (Femto, Pico, Nano, ...)
Dle DIN 12198 bylo na našich zařízeních (pozorovací okénko) provedeno měření intenzity UV záření. Výsledek: Nezávadný. Vakuové komory mohou být dodány v ušlechtilé oceli, borosilikátovém nebo křemenném skle. Jako uzávěr komory je přitom možné si vybrat mezi víkem a dvířky s klouby. Délka vakuových komor závisí na Vašich požadavcích na plazmové zařízení. Obraťte se na nás.
- Zobrazení výkonu
Zobrazení výkonu generátoru. Nástroj k analogovému zobrazení.
- Víceúrovňová elektroda
Víceúrovňová elektroda může být dodána pro kulaté a/nebo hranaté vakuové komory. Je možné ošetřovat více částí najednou. Oblastí použití jsou standardní plazmové procesy. Prosím, domluvte se s Diener electronic na přesné konstrukci Vaší individuální elektrody, jakož i na jiných materiálech pro výrobu nosiče výrobků.
- Testovací přístroj mikrovln
Kvůli nebezpečnému záření může být užitečné umístění testovacího přístroje mikrovln u mikrovlnných zařízení.
- Láhev na monomery
Polymerizační doplněk. K připojení kapalných monomerů na vakuovou komoru.
- Síťové připojení
Možné spojení zařízení s počítačem.
- OES - Optický emisní spektrometr
Kontrola plazmového procesu k zajištění kvality. Detekce koncového bodu plazmového procesu. OES jen ve spojení s PC řízeným zařízením.
- Doplňky pro polymerizaci
Obsahují odpařovací láhev, jednu váhu, dávkovací čerpadlo, vytápění, příp. držák.
- Láhev s procesním plynem
Kyslíková láhev k připojení na procesní plyn se 2, 5 a 10 litry, vodíková láhev se 2 litry, argonová láhev s 5 litry. Při dodávce plynů je nutné zohlednit zvláštní přepravní podmínky. U zařízení k pronájmu je nutné láhev zakoupit.
- Boat z křemenného skla
K dostání ve dvou rozměrech. Pro ultra velmi čisté plazmové procesy nebo ošetření kotoučkem.
- RIE elektroda
Existuje kulatá nebo hranatá, z ušlechtilé oceli, dosahuje vysokých stupňů leptání. Oblastí použití je anizotropní a izotropní leptání.
- RIE elektroda se sprchou plynů
Hranatá z ušlechtilé oceli. Dosahuje vyšších stupňů leptání pomocí homogennější distribuce plynu. Oblastí použití je anizotropní leptání.
- Systém odviják/naviják
Např. k ošetřování fólií / vodících rámů.
- Kyslíkový generátor
Kyslík se vyrábí z okolního vzduchu. Typ Kröber O2. Kyslíkový výkon: 3-6 l/min.
- Bezpečnostní ventil
Pro provoz s hořlavými plyny jako, např. vodík, ethylen ...
- Speciální elektrody a nosiče výrobků
Prosím, domluvte se s Diener electronic na přesné konstrukci Vaší individuální elektrody, jakož i na jiných materiálech pro výrobu nosičů výrobků.
- Speciální příruby / přídavné příruby
Speciální příruby se používají, když je třeba více připojení, než kolik jich je připraveno.
- Speciální vakuové komory
Dle DIN 12198 bylo na našich zařízeních (pozorovací okénko) provedeno měření intenzity UV záření. Výsledek: Nezávadný. Speciální vakuové komory existují v následujících vyhotoveních: kulaté s víkem, hranaté s dvířky s klouby, jsou z hliníku a liší se také průměrem otevření a vnitřními rozměry. Obraťte se na nás.
- Standardní elektroda kulatá nebo hranatá
Z plechu z ušlechtilé oceli/hliníku pro standardní plazmové procesy.
- TEM testovací držáky
Speciální zařízení k zavedení do plazmové komory zvenku. Proveditelná je jakákoliv velikost. Prosím, předejte nám rozměry/výkresy Vašich dílů.
- Zobrazovač teploty
Zobrazení teploty komory bez topné desky. Uvnitř vakuové komory je umístěno termické čidlo. Díky tomu je možné měřit teplotu na povrchu součásti. Zobrazení teploty existuje také integrované v PC řízení. Teplota se zde zobrazuje na obrazovce.
- Souprava testovacích inkoustů
Testovací inkousty k jednoduché analýze povrchového pnutí. Souprava obsahuje 28, 38, 56, 64, 72 a 105 mN/m. Další hodnoty je možné dodat na požádání.
- Termické odpařovací zařízení
Pro substance s nízkým tlakem páry. Průměr číšky: 16 mm, objem číšky: 0,1 l. Stínění proti plazmovým účinkům, kontrola teploty (max. 500°C) a rychlosti vzestupu teploty (až do 250°C/min). Připojení pomocí provedení malé příruby.
- Časovač LT4H
Místo standardního časovače k nastavení času procesu.
- Vakuové komory ze skla (borosilikátové nebo křemenné)
Vakuové komory z borosilikátového skla jsou pro velmi čisté plazmové procesy, vakuové komory z křemenného skla jsou pro ultra velmi čisté plazmové procesy.
- Vakuové komory z ušlechtilé oceli
Vakuové komory z ušlechtilé oceli jsou pro standardní plazmové procesy.
- Systémy vakuových čerpadel
Rotační lamelové čerpadlo nebo čerpadlo s během nasucho s minerálním olejem nebo olejem PFPE. Čerpadla se dodávají naplněná olejem.
- Zařízení pro ošetření prášků
Prášek se ošetřuje v rotující plynové láhvi. K naplnění láhve je možné ji vyjmout ze zařízení.
- Chlazení vodou
Chlazení provzdušněnou vodou s navijáky pro mobilní použití. Připojení bez napětí pomocí 2 přepínacích kontaktů pro ochranné zapojení čerpadla.
- Nabídka údržby pro Vaše plazmové zařízení
Nabídka údržby Diener electronic zahrnuje kompletní servis. Výměna oleje, kontrola všech připojení, těsnění, konektorů, atd., těsnostní test, vyvážení snímače tlaku, jakož i zkouška činnosti. Pro další informace k tématu Údržba a servis klikněte na bod nabídky Poradenství/Servis.
- Pytlíček na prádlo
Pro předběžné čištění drobných součástí v pračce. Rozměry: 500 mm x 300 mm. Minimální objednávka: 20 ks.
- Sušička
Pro první čištění drobných součástí před plazmovým ošetřením. Nutná jen u silně znečištěných částí. Výrobce: Miele: Typ WT 2670 WPM.
- Vodou chlazená deska nosičů výrobků
Vodou chlazená deska se montuje na dno komory a dodává se včetně vodního čerpadla a vodní nádrže. Používá se k chlazení částí citlivých na teplo.
- Další funkce software
Software může být kdykoliv doplněn o další alternativy. Prosím, sdělte nám Vaše požadavky.
- Dodatečné plynové kanály
Jehlové ventily: Naše zařízení mohou být vybavena libovolným počtem jehlových ventilů. U plazmového zařízení typu Femto jsou standardem 1-3 kusy, další jsou možné na požádání.
- Dodatečné hmotnostní průtokoměry
Hmotnostní průtokoměry: Nutné při PC a PCCE řízeních. Naše zařízení mohou být vybavena libovolným počtem hmotnostních průtokoměrů (MFC).
Ve většině případů je možné vybavení dodatečnými alternativami. |
)
)
)
)
