| |
Technické údaje:
rozvaděč:
W 345 mm, H 220 mm, D 420 mm
komora:
Ø 100 mm, L 270 mm
objem komory:
přibližně 2 litry
zdroj plynu:
jeden plynový kanál přes jehlový ventil
generátor:
40kHz/100 W, neomezeně variabilní
vakuová pumpa:
Leybold, Typ S1.5 (1.5m³/h)
nosič výrobků:
1 ks nosič výrobků
řízení:
poloautomatické řízení, procesní čas nastavován časovačem
volitelné položky / příslušenství
|
|
PLASMA CLEANER FEMTO: Vývoj procesů, čištění, aktivace, leptání ( malé série )
|
