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Technische Daten:
Schaltschrank:
B 345 mm, H 220 mm, T 420 mm
Kammer:
Ø 100 mm, L 270 mm
Kammervolumen:
ca. 2 Liter
Gaszuführung:
1 Gaskanal über Nadelventil
Generator:
40kHz/100W, stufenlos
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
manuell, Prozeßzeit über Timer
Optionen / Zubehör
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Kleinanlage FEMTO: Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung,
Ätzung in Kleinserie
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