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Technische Daten:
Schaltschrank:
B 550 mm, H 330 mm, T 500 mm
Kammer:
Ø 150 mm, L 320 mm
Kammervolumen:
ca. 5 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über Nadelventil
Generator:
40kHz/200W, stufenlos
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ Trivac D2,5B (2,5 m³/h) Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
halbautomatisch, Prozeßzeit über Timer
Option / Zubehör
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Kleinanlage PICO: Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung,
Ätzung, Optik, Lasertechnik
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