| |
Technische Daten:
Plasmaanlage NANO
Gehäuse:
B 580 mm, H 650 mm, T 600 mm
Kammer:
Ø 267 mm, L 420 mm
Kammervolumen:
ca. 24 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über Nadelventil
Generator:
40kHz/300W, stufenlos
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ D8B (8 m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
halbautomatisch, Prozeßzeit über Timer
Optionen / Zubehör
|
|
Kleinanlage NANO mit halbautomatischer Steuerung:
Reinigung, Aktivierung, Ätzung, Beschichtung
Kleinanlage NANO mit vollautomatischer Steuerung:Reinigung,
Aktivierung, Ätzung, Beschichtung |
