| Zur Plasmabehandlung von größeren Formteilen
kann es notwendig sein, die Elektrode der Werkstückform
anzupassen. Somit ist auch eine gleichmäßige
Ätzung von Vertiefungen gewährleistet. |
|
Zur Folienbehandlung wird die komplette
Folienrolle in die Kammer eingebracht. Über ein
Wickelsystem wird die Folie an der Elektrode vorbeigeführt
und plasmabehandelt. Die behandelte Folie wird aufgerollt und
nach Prozeßende entnommen. |
