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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN - PLASMA SYSTEM PICO[ PLASMA CLEANER - PLASMA ETCHER - PLASMA ASHER - PLASMA ACTIVATION ]Die PICO Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den PICO Plasmasystemen. Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0 Prospekt PICO (PDF 1011 KB) Grundausstattung - Die Gehäuse variieren je nach Komponenten / Optionen- Kammervolumen: je nach Version 4 - 15 Liter - Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für Standgerät Gaszufuhr - Nadelventile- Mass-Flow-Controller (MFCs) Vakuumkammern - Edelstahlrund mit Deckel (ca. Ø 150 mm, L 320 mm oder L 600 mm) oder rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 160 x H 160 mm x T 325 mm oder 600 mm) - Aluminium rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. Ø 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm) - Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. Ø 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm) - Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. Ø 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm) Beladung Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote,Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas Elektroden - Ein- oder Mehretagen- RIE Steuerung - Halbautomatik- PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE) - PC-Steuerung (Microsoft Windows XPE) Druckmessung - Pirani- Baratron (für Korrosivgas Version) Timer - DigitalGeneratoren Frequenzen: 40 kHz: Leistung 0 - 200 W; 0 - 1000 W13,56 MHz: Leistung 0 - 50 W; 0 - 100 W; 0 - 300 W 2,45 GHz: Leistung 0 - 300 W Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 % Vakuumpumpen - in verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern(nach Bedarf mit Aktivkohlefilter) Weitere Optionen Ersatzteilsets, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolimerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoff-Generator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Proben-halterflansch, Wartung / Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung.Hier sehen Sie einige Beispiele unserer |
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