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WAS sind Plasmaindikator-Etiketten ?
Plasmaindikator-Etiketten sind speziell beschichtete Folien, die als Referenz zu den behandelnden Materialien in die Plasmakammer gelegt oder auf die zu behandelnden Teile geklebt werden.
WOFÜR verwendet man sie?
Zur Prozesskontrolle bei folgenden
Plasmaprozessen:
- Reinigen
- Aktivieren
- Ätzen
WARUM sind sie nötig?
Weil es kaum eine einfachere Methode zur Prozessüberwachung gibt. Besonders bei hohem Durchsatz und Schichtarbeit hilft das Etikett den Überblick über die behandelten und unbehandelten Chargen zu behalten. Ein Blick auf das Etikett genügt, um den Status des Materials zu erkennen (behandelt oder unbehandelt).
WIE funktionieren sie?
Die beschichtete Folie auf dem Etikett zeichnet sich durch einen dunklen (braunen) Indikatorpunkt aus, der bei erfolgreichem Plasmaprozess verschwindet. Ist kein Indikatorpunkt mehr zu sehen, so wurde die Reinigung / Aktivierung / Ätzung erfolgreich durchgeführt.
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