|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
SPUTTER PLASMAANLAGE[ PLASMA SYSTEM Tetra 15 ]Die TETRA 15 Plasmaanlage ist mit dem Verfahren Sputtern für die hochvakuumbasierte Beschichtungstechnik sowie für das Reinigungsverfahren zur Präparation hochreiner Oberflächen konzipiert. Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0 Grundausstattung - Gehäuse ca. B 1.000 mm x H 1.700 mm x T 800 mm- Kammervolumen: ca. 15 Liter - Spannungsversorgung: 400 V / 16 A Gaszufuhr - 2 Mass-Flow-Controller (MFCs)Vakuumkammern - Edelstahl, rechteckige Tür mit ScharnierB 360 x H 160 mm x T 260 mm Beladung - AluminiumblechElektroden - RIESteuerung - PC-Steuerung (Microsoft Windows XPE)Druckmessung - BaratronGeneratoren Frequenzen: 40 kHz: Leistung 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W 2,45 GHz: Leistung 0 - 1200 W Die Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 % Vakuumpumpen - in verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern(nach Bedarf mit Aktivkohlefilter) Weitere Optionen Ersatzteilsets, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolimerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoff-Generator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Proben-halterflansch, Wartung / Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung.
Hier sehen Sie die
|
|
|
