Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto PCCE
switchgear cabinet:
Ancho 562 mm, Altura 211 mm, Fondo 420 mm
Cámara de Trabajo:
Ø 100 mm, L 280 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2,8 litros
Alimentación del gas:
2 canales de gas, cada uno controlado por un MFC
Generador:
40kHz/100W
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:
1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Computadora Personal (PC) con Windows
Accesorios y Opcionales
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Plasma system FEMTO PCCE (front) :
Process development, cleaning, activating, etching (en series pequeñas)
Plasma system FEMTO PCCE (back)
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