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Datos Técnicos:
Plasma etcher PICO UHP
Gabinete Eléctrico:
Ancho 550 mm, Altura 330 mm, Fondo 500 mm
Cámara de Trabajo:
"Ø 130 mm, L 300 mm
Apertura de la camára Ø: 125 mm
Materiales: cuarzo o vidrio de silicato de boro
Paredes frontales y de fondo de la camára: alumninio"
Volúmen de la Cámara:
Aprox. 4 litros
Alimentación del gas:
2 canales de gas con válvulas accionadas por aguja
Generador:
"40 kHz / 0 - 100 W
(opcional 13,56 MHz ó 2,45 GHz)"
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo Trivac D2,5B (2,5 m³/h)
Bastidor para piezas:
1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Semi-automático, duración del proceso por temporizador
Accesorios y Opcionales
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Sistema Pequeño PICO UHP: tambien apto para la
limpieza de componentes ópticos.
Plasma en el recipiente de vidrio del PICO UHP.
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