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Datos Técnicos:
Plasma etcher TETRA-100-LF-PC
Gabinete Eléctrico:
Ancho 600 mm, Altura 2.200 mm, Fondo 800 mm
Cámara de Trabajo:
Ancho 400 mm, Altura 400 mm, Fondo 625 mm
Volúmen de la Cámara:
Aprox. 100 litros
Alimentación del gas:
3 canales de gas, cada uno controlado por un MFC (= Mass Flow
Controller) Generador:
40 kHz / 0 - 2.500 W
(opcional 13,56 MHz ó 2,45 GHz)
Bomba de Vacío:
Leybold, Typ D40B (40 m³/h)
Bastidor para piezas:
hasta 10 portadores de piezas
(opcional: Tambor rotativo)
Sistema de Control:
Computadora Personal (PC) con Windows
Accesorios y Opcionales
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Plasma system TETRA-100-LF-PC para la producción contínua:
limpieza, activación, mordentado.
6 Portadores de piezas y Tambor rotativo para
Sistemas TETRA |
