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Datos Técnicos:
Plasma etcher TETRA-30-LF-PC
Gabinete Eléctrico:
Ancho 600 mm, Altura 2.200 mm,
Fondo 850 mm
Cámara de Trabajo:
Ancho 305 mm, Altura 300 mm, Fondo 370 mm
(opcional: Fondo 625 mm)
Volúmen de la Cámara :
Aprox. 34 litros
Alimentación del gas :
3 canales de gas, cada uno controlado por un MFC (= Mass Flow
Controller)
Generador:
40 kHz / 0 - 1000 W
(opcional 13,56 MHz ó 2,45 GHz)
Bomba de Vacío:
Leybold, Typ D16B (25 m³/h)
Bastidor para piezas:
hasta 6 portadores de piezas
(opcional: Tambor rotativo)
Sistema de Control:
Computadora Personal (PC) con Windows
Accesorios y Opcionales
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Plasma system TETRA-30-LF-PC con sistema de control por PC. Diseñado
para la producción contínua: limpieza, activación,
mordentado. |
