Datos Técnicos:
Plasma cleaner Zepto
Gabinete Eléctrico:
Ancho 425 mm, Altura 185 mm,
Fondo 450 mm
Cámara de Trabajo:
glass,
Ø 105 mm, L 300 mm
Volúmen de Cámara:
aprox. 2,6 litres
Alimentación del gas:
2 canales de gas con válvula accionada por aguja
Generador:
40kHz/100W or 13.56 MHz/50W fixed matching
Bomba de Vacío:
Succión: 2 m³/h
Bastidor para piezas:
1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Manual, duración del proceso por temporizador
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low cost sistema de plasma ZEPTO:
Process development, cleaning, activating, etching (en series pequeñas)
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