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[ Technologie Micro-ondes ]
Les micro-ondes (2,45GHz) sont utilisées pour l’excitation des plasmas basse pression. Les avantages sont le faible coût et la grande efficacité dans les procédés de gravure et de polymérisation. Les inconvénients sont une réalisation électrique complexe, la présence de très hautes tensions, l’obligation d’utiliser des contenants en verre et la mauvaise homogénéité.
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