Standard Plasma Systems FEMTO :: diener electronic

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	STANDARD PLASMA SYSTEMS
	[ PLASMA SYSTEM FEMTO - PLASMA CLEANER ]

	Le Plasma System FEMTO est un system plasma semi automatique de laboratoire d'une capacité de 2 litres utilisé pour production de petites séries: l'analyse (SEM, TEM) médical stérilisation recherche et développement archéologie traitement des textiles textile treatment semiconducteur plastique
	Documentation FEMTO (PDF 1007 KB)

Données techniques:
Plasma cleaner Femto timer (version 1)

Dimensions du système:
L 345 mm, H 220 mm, P 420 mm
Dimensions de la chambre:
Ø 100 mm, P 270 mm
Volume de la chambre:
2 litres
Alimentation en gaz:
1 canal de gaz réglable par vanne à aiguille
generator:
40 KHz, réglable de 1 à 100 W
Pompe:
Leybold S1.5 (1.5 m3/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle:
semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.

Options / accessoires

Plasmaanlage FEMTO für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Plasma system FEMTO timer (version 1): Process development, cleaning, activating, etching (petites séries)

Données techniques:
Plasma cleaner Femto PCCE
(version 2)

Dimensions du système:
L 562 mm, H 211 mm, P 420 mm
Dimensions de la chambre:
Ø 100 mm, P 280 mm
Volume de la chambre:
2,8 litres
Alimentation en gaz:
2 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique
générateur:
40 KHz, réglable de 1 à 100 W
Pompe:
Leybold S1.5 (1.5 m3/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle:
Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.

Options / accessoires

Plasmaanlage FEMTO PCCE für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Plasma system FEMTO PCCE (version 2) :
Process development, cleaning, activating, etching
(petites séries)

Veraltete LCD-Anzeige, Innovativer Touchscreen

Old LCD-display

Innovative touchscreen

Données techniques:
Plasma cleaner Femto
(version 3)

Dimensions du système:
L 345 mm, H 220 mm, P 420 mm
Dimensions de la chambre:
Ø 100 mm, P 270 mm
Volume de la chambre:
2 litres
Alimentation en gaz:
1 canal de gaz réglable par vanne à aiguille
générateur:
13,56 MHz/50W, réglable
Pompe:
Leybold S1.5 (1.5 m3/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle:
semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.

Options / accessoires

Plasma system FEMTO (version 3) :
Process development, cleaning, activating, etching
(petites séries)

Données techniques:
Plasma cleaner Femto
(version 4)

Dimensions du système:
L 560 mm, H 310 mm, P 600 mm
Dimensions de la chambre:
L 100 mm, H 100 mm, P 280 mm
Volume de la chambre:
2 litres
Alimentation en gaz:
1 canal de gaz réglable par vanne à aiguille
générateur:
40 KHz, réglable de 1 à 100
Pompe:
Leybold S1.5 (1.5 m3/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle:
semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.

Options / accessoires

Femto with door: Plasma cleaner, plasma asher, plasma activator

Plasma system FEMTO (version 4):
Process development, cleaning, activating, etching

Données techniques:
Plasma cleaner Femto
(version 5)

Dimensions du système:
L 562 mm, H 211 mm, P 420 mm
Dimensions de la chambre:
Ø 100 mm, P 270 mm
Volume de la chambre:
2 litres
Alimentation en gaz:
2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille
générateur:
40 KHz, réglable de 1 à 100 W
Pompe:
Leybold S1.5 (1.5 m3/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle:
semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.
Pressure sensor:
Pirani

Options / accessoires

Plasmasystem FEMTO LF cleaning, etching, activating any surface

Plasma system FEMTO (version 5) :
Process development, cleaning, activating, etching
(petites séries)

Données techniques:
Plasma cleaner Femto
(version 6)

Dimensions du système:
L 562 mm, H 460 mm, P 550 mm
Dimensions de la chambre:
Ø 100 mm, P 270 mm
Volume de la chambre:
2 litres
Alimentation en gaz:
3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique
générateur:
40 KHz à 100 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe:
Leybold S1.5 (1.5 m3/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle
Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.

Options / accessoires

Plasmasystem FEMTO with PC control cleaning, etching, activating any surface

Plasma system FEMTO-PC (version 6) :
Process development, cleaning, activating, etching
(petites séries)

Données techniques:
Plasma cleaner Femto
(version 7)

Dimensions du système:
L 320 mm, H 500 mm, P 420 mm
Dimensions de la chambre:
L 100 mm, H 270 mm, P 280 mm
Volume de la chambre:
2 litres
Alimentation en gaz:
2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille
générateur:
40 KHz, réglable de 1 à 100 W
Pompe:
Leybold S1.5 (1.5 m3/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle:
semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.
Pressure sensor:
Pirani

Options / accessoires

Plasmasystem FEMTO V LF cleaning, etching, activating any surface

Plasma system FEMTO (version 7):
Process development, cleaning, activating, etching
(petites séries)

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STANDARD PLASMA SYSTEMS

[ PLASMA SYSTEM FEMTO - PLASMA CLEANER ]

Données techniques: Plasma cleaner Femto timer (version 1)

Données techniques: Plasma cleaner Femto PCCE (version 2)

Données techniques: Plasma cleaner Femto (version 3)

Données techniques: Plasma cleaner Femto (version 4)

Données techniques: Plasma cleaner Femto (version 5)

Données techniques: Plasma cleaner Femto (version 6)

Données techniques: Plasma cleaner Femto (version 7)

Données techniques:
Plasma cleaner Femto timer (version 1)

Données techniques:
Plasma cleaner Femto PCCE
(version 2)

Données techniques:
Plasma cleaner Femto
(version 3)

Données techniques:
Plasma cleaner Femto
(version 4)

Données techniques:
Plasma cleaner Femto
(version 5)

Données techniques:
Plasma cleaner Femto
(version 6)

Données techniques:
Plasma cleaner Femto
(version 7)