Standard Plasma Systems FEMTO :: diener electronic

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	STANDARD PLASMA SYSTEMS
	[ PLASMA SYSTEM FEMTO UHP - PLASMA ETCHER ]

	FEMTO est un system plasma semi automatique de laboratoire d’une capacité de 2 litres utilisé pour production de petites séries l’analyse (SEM, TEM) médical stérilisation recherche et développement archéologie traitement des textiles semiconducteur plastique
	Documentation FEMTO (PDF 1005 KB)

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Données techniques:
Plasma etcher Femto UHP
(version 8)

Dimensions du système:
L 345 mm, H 220 mm, P 420 mm
Dimensions de la chambre:
Ø 95 mm, P 270 mm, Opening Ø 90 mm
Volume de la chambre:
1,9 litres
Alimentation en gaz:
1 canal de gaz réglable par vanne à aiguille
générateur:
40 KHz, réglable de 1 à 100 W
Pompe:
Leybold, Type S1.5 (1.5m³/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle:
semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.

Options / accessoires

Femto UHP: Plasma cleaner, plasma asher, plasma activator

Plasma system FEMTO UHP (version 8): Process development, cleaning, activating, etching (petites séries)

Données techniques:
Plasma etcher Femto UHP
(version 9)

Dimensions du système:
L 560 mm, H 310 mm, P 600 mm
Dimensions de la chambre:
L 95 mm, P 270 mm, Opening Ø 90 mm
Volume de la chambre:
1,9 litres
Alimentation en gaz:
1 canal de gaz réglable par vanne à aiguille
générateur:
40 KHz, réglable de 1 à 100 W
Pompe:
Leybold, Type S1.5 (1.5m³/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle:
semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.

Options / accessoires

Femto UHP with door: Plasma cleaner, plasma asher, plasma activator

Plasma system FEMTO UHP (version 9):
Process development, cleaning, activating, etching

Données techniques:
Plasma etcher Femto UHP (version 10)

Dimensions du système:
L 562 mm, H 211 mm, P 420 mm
Dimensions de la chambre:
Ø 95 mm, P 270 mm,
Opening Ø 90 mm
Volume de la chambre:
1,9 litres
Alimentation en gaz:
2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille
générateur:
40 KHz, réglable de 1 à 100 W
Pompe:
Leybold, Type S1.5 (1.5m³/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle:
semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.
Pressure sensor:
Pirani

Options / accessoires

Plasmasystem FEMTO LF UHP cleaning, etching, activating any surface

Plasma system FEMTO UHP (version 10):
Process development, cleaning, activating, etching
(petites séries)

Données techniques:
Plasma etcher Femto UHP (version 11)

Dimensions du système:
L 562 mm, H 460 mm, P 550 mm
Dimensions de la chambre:
Ø 95 mm, P 270 mm,
Opening Ø 90 mm
Volume de la chambre:
1,9 litres
Alimentation en gaz:
3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique
generator:
40kHz/0-100 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz )
Pompe:
Leybold, Type S1.5 (1.5m³/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle:
Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.

Options / accessoires

Plasmasystem FEMTO UHP with PC control cleaning, etching, activating any surface

Plasma system FEMTO-PC UHP (version 11):
Process development, cleaning, activating, etching
(petites séries)

Données techniques:
Plasma etcher Femto UHP (version 12)

Dimensions du système:
L 320 mm, H 500 mm, P 420 mm
Dimensions de la chambre:
L 95 mm, P 270 mm,
Opening Ø 95 mm
Volume de la chambre:
1,9 litres
Alimentation en gaz:
2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille
générateur:
40 KHz, réglable de 1 à 100 W
Pompe:
Leybold, Type S1.5 (1.5m³/h)
Support de pièce:
1 plateau
Contrôle:
semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.
Pressure sensor:
Pirani

Options / accessoires

Plasmasystem FEMTO UHP V LF cleaning, etching, activating any surface

Plasma system FEMTO UHP (version 12):
Process development, cleaning, activating, etching
(petites séries)

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STANDARD PLASMA SYSTEMS

[ PLASMA SYSTEM FEMTO UHP - PLASMA ETCHER ]

Données techniques: Plasma etcher Femto UHP (version 8)

Données techniques: Plasma etcher Femto UHP (version 9)

Données techniques: Plasma etcher Femto UHP (version 10)

Données techniques: Plasma etcher Femto UHP (version 11)

Données techniques: Plasma etcher Femto UHP (version 12)

Données techniques:
Plasma etcher Femto UHP
(version 8)

Données techniques:
Plasma etcher Femto UHP
(version 9)

Données techniques:
Plasma etcher Femto UHP (version 10)

Données techniques:
Plasma etcher Femto UHP (version 11)

Données techniques:
Plasma etcher Femto UHP (version 12)