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SYSTÈMES PLASMA - PLASMA BASSE PRESSION

[ SYSTÈMES PLASMA PICO ]



Les systèmes à plasma Nano peuvent être combinés dans un système modulaire en différentes variantes. Ce qui suit est un aperçu des options les plus populaires dans le cadre de systèmes plasma Nano.

Appelez-nous, nous vous conseillons. Tel.: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0

Documentation NANO (PDF 1073 KB)


L'équipement de base

- Les cas varient en fonction des composants / options
- Volume de la chambre: selon la version de 18 à 36 litres
- Alimentation: 230 V pour dessus de table, 400 V / 3 phases
  Intégrable

Fourniture de gaz

- Vanne à aiguille
- Mass-Flow-Controller (MFC supplémentaires)

Chambres à vide

- En acier inoxydable
- ronde avec couvercle
    (env. Ø 297 mm, L 420 mm oder L 600 mm) ou
    rectangulaire, la porte charnière
    (env. l 240 x H 240 x G 420 mm ou 600 mm)

- aluminium
    ronde avec couvercle ou la porte charnière
    (env. Ø 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)

- verre quartzeux (UHP)
    ronde avec couvercle ou la porte charnière
    (env. Ø 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)

- verre borosilicate (UHP)
    ronde avec couvercle ou la porte charnière
    (env. Ø 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)

Chargement

  Clients (Option: refroidi à l'eau), Bac en verre de quartz ,
  Tambour rotatif pour la poudre, Tambour rotatif pour en vrac,
  tôle d'aluminium, tôle d'acier inoxydable, verre borosilicate,
  verre quartzeux

Électrode

- Simple ou multi-étages
- RIE

Contrôle

- semi-automatique
- contrôle par PCCE (Microsoft Windows CE)
- contrôle par PC (Microsoft Windows XPE)

Manomètre

- Pirani
- Baratron (Pour la version gaz corrosifs)

Timer

- Digital

Générateurs

Fréquences:      40 kHz: Puissance 0 - 300 W; 0 - 1000 W
                     13,56 MHz: Puissance 0 - 100 W; 0 - 300 W
                       2,45 GHz: Puissance 0 - 600 W

Tous les générateurs sont réglables en continu de 0 à 100%

Pompes à vide

- dans différentes tailles provenant de différents fabricants
  (Au besoin, avec filtre à charbon actif)


 

Voici quelques exemples de nos logement NANO



Plasmaanlage NANO Variante A für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmasysteme, Plasma Asher
 NANO Exemple, la variante A

Plasmasystem NANO Variante B für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen, Plasma cleaner
 NANO Exemple, la variante B

Plasmaanlage NANO Variante C für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmasysteme
 NANO Exemple, la variante C

Plasmasystem NANO Variante D für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen
 NANO Exemple, la variante D

Plasmasystem NANO Variante E vertikal für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmasysteme, Plasma Asher
 NANO Exemple, la variante E

Plasmaanlage NANO Variante F für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen, Plasma cleaner
 NANO Exemple, la variante F



S'il vous plaît contacter pour des conseils techniques pour ces plantes en avec nous.

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