SYSTEME PLASMA STANDARDS

Données techniques:
Plasma etcher TETRA-100-LF-PC

Dimensions du système:
L 600 mm, H 2200 mm, P 850 mm
Dimensions de la chambre :
L 400 mm, H 400 mm, P 625 mm
Volume de la chambre :
100 litres
Alimentation en gaz:
3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique
générateur:
40 KHz, réglable de 1 à 2500 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe:
Leybold D40B (40 m3/h)
Support de pièce:
Jusqu’à 10 plateaux (tambour rotatif en option)
Contrôle:
Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.

Options / accessories