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Nos installations plasma sont livrables avec les options et accessoires suivants :
- Générateur de 13,56 MHz
Conformément à la norme EN 55011, nos générateurs 13,56 MHz sont stabilisés par quartz. L'adaptation d'impédance est possible en mode constant, manuel et automatique. Principaux domaines d'application : l'activation, le nettoyage, la gravure, les semi-conducteurs (front-end), les semi-conducteurs (back-end), la polymérisation plasma.
- Générateur de 40 kHz
L'adaptation d'impédance est possible uniquement en mode automatique, la puissance est disponible en deux modèles. Principaux domaines d'application : l'activation, le nettoyage, la gravure, les semi-conducteurs (back-end), la polymérisation plasma.
- Générateur de 2,45 GHz (micro-ondes)
La puissance va de 0 à 300 Watt. Le générateur est équipé d'une connexion PC. Principaux domaines d'application : l'activation, le nettoyage, la gravure, les semi-conducteurs (front-end), les semi-conducteurs (back-end), la polymérisation plasma.
- Valve 2/2 voies pour le dosage des fluides
Valve pour un dosage précis des monomères.
- Contrôle semi-automatique
Une description détaillée de nos différents modèles de contrôles est disponible en cliquant sur le point de menu Systèmes plasma/Contrôles/Contrôle semi-automatique.
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- Contrôle automatique
Une description détaillée de nos différents modèles de contrôles est disponible en cliquant sur le point de menu Systèmes plasma/Contrôles/Contrôle automatique.
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- Contrôle par PC
Une description détaillée de nos différents modèles de contrôles est disponible en cliquant sur le point de menu Systèmes plasma/Contrôles/Contrôle par PC.
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- Contrôle par PCCE
Fonctionne avec le système d'exploitation Windows CE avec écran tactile. Une description détaillée de nos différents modèles de contrôles est disponible en cliquant sur le point de menu Systèmes plasma/Contrôles/Contrôle par PCCE.
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- Filtre à charbon actif
Le filtre à charbon actif est facilement changeable.
- Filtre d'aspiration pour la pompe à vide
Protège la pompe à vide des éléments en suspension dans l'air, des particules de revêtement et des impuretés.
- Porte automatique
Cette porte se ferme automatiquement au démarrage du processus.
- Lecteur de code-barres
Pour un suivi des lots.
- Chambre chauffable
Cette chambre peut être chauffée jusqu'à env. 80 °C. La température est réglable. Cette chambre convient pour les processus qui s'effectuent dans des conditions déterminées et pour les taux de gravures élevés.
- Mesure de la tension induite
Cet appareil de mesure de la tension induite est disponible pour des générateurs de fréquences en kHz et en MHz.
- Flacon laveur
Le flacon laveur fait partie des accessoires nécessaires pour la polymérisation pour relier les monomères liquides à la chambre sous vide. On utilise un gaz porteur au lieu du simple flacon de monomères. Le gaz porteur, l'argon par exemple, est rincé par le monomère.
- Vanne papillon
En technologie du vide, une vanne papillon sert à réguler un flux gazeux, principalement dans la conduite d'aspiration d'une pompe à vide. La résistance de l'écoulement dans la conduite peut être modifiée par le réglage d'un clapet qui obture plus ou moins la conduite.
- Documentation en langue locale
Cette documentation est réalisée conformément aux directives pour machines 89/392/EWG. La documentation en langue locale, sauf pour les langues anglaise et allemande, n'est pas livrée automatiquement avec l'installation. Elle doit être commandée séparément.
- Tambour rotatif
Type de support pour le traitement des pièces en vrac.
- Manomètre
Capteur Pirani ou Baratron : affichage de la pression dans la chambre sous vide.
 
- Réducteur de pression
Le réducteur de pression permet le raccord à la bouteille de gaz : 200 bars. Différents réducteurs de gaz sont nécessaires pour les différents gaz. Il existe ainsi des réducteurs de gaz pour les gaz nobles, pour H2, pour O2, CF4, C4F8 et pour NH3.
- Installations en continu
Pour intégrer une installation plasma basse pression dans une ligne de traitement automatique.
- Jeu de pièces de rechange standard ou PFPE
Le jeu de pièces de rechange contient 1 bague de serrage, 1 joint, 1 flexible en acier (pour la pompe à vide), 1 vitre, 1 joint de porte, 10 micro fusibles pour l'installation plasma, 1 litre d'huile minérale (jeu standard) ou d'huile PFPE (jeu PFPE) pour la pompe à vide.
- Imprimante pour étiquettes
Impression automatique d'étiquettes après le traitement plasma.
- Lecteur d'étiquettes
Pour un suivi des lots.
- Cage de Faraday
Pour les composants électriques sensibles. Les composants à traiter se trouvent dans la cage de Faraday. Celle-ci peut-être retirée de la chambre sous vide.
- Support pour bouteilles de gaz
Se fixe sur le bureau, les étagères ou les plinthes. La longueur est de 70 mm. La lanière permet de fixer solidement le support. Ce support convient pour toutes les dimensions de flacons.
- Détecteur de gaz (Dräger)
Une sécurité supplémentaire en cas d'utilisation de gaz inflammables sur les sites de travail.
- Plaque chauffante
Les pièces à traiter sont posées sur la plaque chauffante. Celle-ci peut atteindre une température maximale de 150 °C et convient pour les processus qui s'effectuent dans des conditions déterminées et pour les taux de gravures élevés. Deux options sont disponibles :
Un capteur thermique équipé d'un appareil d'affichage de la température est introduit dans la chambre sous vide afin de mesure la température à la surface de l'élément.
Un capteur thermique équipé d'un affichage de la température intégré au contrôle par PC est également introduit dans la chambre sous vide afin de mesurer la température à la surface de l'élément. La température est alors affichée sur l'écran.
- Installation de votre installation plasma sur site
Cette option comprend le temps de transport, le temps de travail ainsi que les frais de transport de nos collaborateurs.
- Capteur de mesure du flux d'ions
Contrôle qualité supplémentaire du plasma au cours du processus.
- Modèle gaz corrosifs
Vannes en acier. Tuyauterie en acier. Obligatoire pour la polymérisation plasma ou l'utilisation de gaz corrosifs tels que NH3, H2O, CF4 ou SF6.
- Supports spécifiques clients
Nos installations sont toujours livrées avec un support. D'autres modèles peuvent être réalisés sur demande auprès de Diener electronic. Permettent une utilisation optimale de l'installation plasma.
- Vernis en spray / Kit de plaques en verre (test pour matériaux sans silicone)
Accessoires pour le test d'absence de silicone. Contenu de la livraison : spray de vernis, 5 flacons de 400 ml. 100 plaques de verres de 90 mm x 110 mm.
- Aération lente de la chambre sous vide
La chambre sous vide est aérée lentement au moyen d'un filtre. Ainsi, les petites particules ne circulent pas dans la chambre.
- Pompage lent de la chambre sous vide
Le pompage lent de la chambre sous vide s'effectue par une vanne By-pass. Ainsi, les petites particules ne circulent pas dans la chambre.
- Chambres sous vide plus longues (Femto, Pico, Nano, ...)
Conformément à la norme DIN 12198, une mesure de l'intensité du rayonnement UV a été réalisée sur nos installations (jauge). Résultat : aucun risque. Ces chambres sous vides sont livrables en acier, en verre borosilicate ou en verre de quartz. Il est possible de choisir une fermeture de porte par couvercle ou par porte avec charnière. La longueur des chambres sous vides dépend de l'application plasma et de vos attentes. N'hésitez pas à nous contacter.
- Affichage de la puissance
Affichage de la puissance du générateur. Instrument d'affichage analogique.
- Électrode à plusieurs étages
L'électrode à plusieurs étages est disponible pour des chambres sous vide circulaires et/ou rectangulaires. Plusieurs pièces peuvent être traitées en même temps. Le domaine d'application est principalement les processus plasma standard. N'hésitez pas à contacter Diener electronic si vous avez des questions sur la structure exacte de votre électrode et sur d'autres matériaux pour l'élaboration de votre support.
- Détecteur de fuites micro-ondes
Étant donné que le rayonnement est dangereux, il peut être utile d'adjoindre un détecteur de fuites micro-ondes aux installations micro-ondes.
- Flacon à monomères
Accessoire de polymérisation. Pour relier les monomères liquides à la chambre sous vide.
- Connexion réseau
Permet de connecter l'installation à un ordinateur.
- Spectromètre d'émission optique (SEO)
Surveillance du processus plasma pour l'assurance qualité. Détection de l'extrémité du processus plasma. Peut être connecté uniquement à une installation contrôlée par PC.
- Accessoires de polymérisation
Contient un flacon évaporateur, une balance, une pompe doseuse, un dispositif de chauffage et éventuellement un crochet.
- Bouteille de gaz de process
Bouteille d'oxygène pour raccord en tant que gaz de process en modèle de 2, 5 et 10 litres, bouteille d'hydrogène de 2 litres, bouteille d'argon de 5 litres. Des conditions de transport particulières sont à prévoir pour la livraison des gaz. Pour les installations en location, les bouteilles doivent être achetées.
- Bac en verre de quartz
Disponible en deux dimensions. Pour un processus plasma ou un traitement des plaques extrêmement propre.
- Électrode RIE
Existe en modèle circulaire et rectangulaire en acier, réalise des taux de gravure élevés. Domaines d'application : gravure anisotrope et isotrope.
- Électrode RIE en pomme de douche
Rectangulaire, en acier. Réalise des taux de gravure grâce à une répartition homogène du gaz. Domaine d'application : gravure anisotrope.
- Système à bobines
Pour le traitement des films plastiques / lead-frames, par exemple.
- Générateur d'oxygène
L'oxygène est généré à partir de l'air ambiant. Type Kröber O2. Puissance d'oxygène : 3-6 l/min.
- Vanne de sécurité
Pour l'utilisation de gaz inflammables, tels que l'hydrogène, l'éthyne...
- Électrode et support spéciaux
N'hésitez pas à contacter Diener electronic si vous avez des questions sur la structure exacte de votre électrode et sur d'autres matériaux pour l'élaboration de votre support.
- Brides supplémentaires
Les brides supplémentaires sont utilisées lorsque des raccords supplémentaires sont nécessaires.
- Chambres sous vides spéciales
Conformément à la norme DIN 12198, une mesure de l'intensité du rayonnement UV a été réalisée sur nos installations (jauge). Résultat : aucun risque. Il existe des modèles de chambres sous vides spéciales circulaires avec couvercles ou rectangulaires avec portes et charnières. Elles sont en aluminium et se différencient également par le diamètre de leur ouverture et par leurs dimensions internes. N'hésitez pas à nous contacter.
- Électrode standard circulaire ou rectangulaire
En tôle d'acier/aluminium pour processus plasma standard.
- Support pour échantillons TEM
Dispositif spécial à introduire dans la chambre de l'extérieur. Toutes les dimensions sont réalisables. Il vous suffit de nous communiquer les mesures/dessins de vos pièces.
- Appareil d'affichage de la température
Affichage de la température dans la chambre sans plaque chauffante. Un capteur thermique est introduit dans la chambre sous vide. La température à la surface de l'élément peut ainsi être mesurée. L'affichage de la température peut également être intégré au contrôle par PC. La température est alors affichée sur l'écran.
- Kit d'encres de test
Encres de test pour une analyse simple de la tension de surface. 28, 38, 56, 64, 72 et 105 mN/m en un kit. D'autres valeurs sont disponibles sur demande.
- Évaporateur thermique
Pour les substances à faible pression de vapeur. Diamètre du fût : 16 mm, Volume du fût : 0,1 l. Protection contre les effets plasma, contrôle de la température (500 °C max.) de la rapidité d'augmentation de la température (jusqu'à 250 °C/min). La connexion passe par des petites brides.
- Minuteur LT4H
Remplace le minuteur standard pour le réglage du temps de processus.
- Chambres sous vide en verre (borosilicate ou quartz)
Les chambres sous vides en verre de borosilicate conviennent pour les processus plasma propres, les chambres en verre de quartz pour les processus ultra propres.
- Chambres sous vide en acier
Les chambres sous vide en acier conviennent pour les processus plasma standard.
- Groupes de vide
Pompe à palette ou pompe à marche à sec avec huile minérale ou PFPE. Les pompes sont livrées avec le plein d'huile.
- Dispositif spécial pour le traitement de poudre
La poudre est traitée dans une bouteille de gaz rotative. Pour le remplissage, la bouteille peut être retirée de l'installation.
- Système de refroidissement à eau
Refroidissement air/eau sur roulettes pour une utilisation mobile. Raccordement sans potentiel par 2 contacts inverseurs pour le dispositif de protection de la pompe.
- Offre de maintenance pour votre installation plasma
L'offre de maintenance Diener electronic comprend un entretien complet : vidange d'huile, contrôle de tous les raccordements, joints, connecteurs, etc., test de détection des fuites, équilibrage du capteur de pression et test de fonctionnement. Pour plus d'informations sur les services de maintenance et d'entretien, cliquez sur le point de menu Conseil.
- Sac à lessive
Pour prélaver les petites pièces dans la machine à laver. Dimensions : 500 mm x 300 mm. Quantité de commande minimum : 20 pièces.
- Sèche-linge
Pour le prélavage des petites pièces avant le traitement plasma. Nécessaire uniquement pour les pièces très sales. Fabricant : Miele : Modèle WT 2670 WPM.
- Plateau support refroidi à l'eau
Le plateau refroidi à l'eau se monte sur le sol de la chambre et est livré avec pompe hydraulique et réservoir d'eau. Il permet de refroidir les pièces sensibles à la chaleur.
- Autres fonctions logicielles
Vous pouvez, à tout instant, ajouter de nouvelles options à votre logiciel. N'hésitez pas à nous communiquer vos besoins.
- Canaux de gaz supplémentaires
Vanne à aiguille : nos installations peuvent être équipées d'autant de vannes à aiguilles que vous le souhaitez. Traditionnellement, il est possible d'installer 1 à 3 vannes sur une installation plasma de type Femto, selon la demande.
- MFC supplémentaires
Les contrôleurs de débit massique de gaz sont nécessaires pour les systèmes de contrôle par PC et par PCCE. Nos installations peuvent être équipées d'autant de contrôleurs de débit massique de gaz (MFC) que vous le souhaitez.
Ces options peuvent, pour la plupart, être montées sur les appareils. |
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