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Quand un gaz (par exemple de l’hexamethyldisiloxane (HMDSO), de l’hexamethyldisilazane (HMDSN), du tetraethylène glycol dimethyl ether) est introduit dans la chambre, du fait de la polymérisation plasma, une couche est déposée sur la surface.
Applications :
Dépôt de couches hydrophobes
Dépôt de couches hydrophiles
Dépôt de barrière de diffusion
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