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Données techniques:
Plasma cleaner FEMTO
Dimensions du système :
L 345mm, H 220 mm, P 420
mm
Dimensions de la chambre :
Ø 100 mm, P 270 mm
Volume de la chambre :
2 litres
Alimentation en gaz :
1 canal de gaz réglable par vanne à aiguille
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 100 W
Pompe:
Leybold S1.5 (1.5 m3/h)
Support de pièce :
1 plateau
Contrôle semi automatique du système, la durée du
traitement est contrôlée par une horloge
programmable.
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Plasma system FEMTO: Développement de procédé,
nettoyage, activation, gravure (petites séries)
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