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Gravure
d’une surface avec un gaz de process actif. La matière
est enlevée,vaporisée et évacuée par le pompage.
Applications plasma etching of surfaces :
- Structuration du silicium
- Amélioration de l’adhésion, du collage et des
finitions sur des plastiques hautes températures comme le
PTFE, le PFA et le FEP.
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