Caratteristiche tecniche:
Plasma cleaner Femto PCCE
Quadro elettrico:
largh. 562 mm, alt. 211 mm,
prof. 420 mm
Camera:
Ø 100 mm, lungh 280 mm
Volume della camera:
ca. 2,8 Litri
Alimentazione gas:
2 canali gas ciascuno con MFC
Generatore:
40kHz/100W, variabile
Pompa per vuoto:
Leybold, tipo S1.5 (1.5m³/h)
Sistema di caricamento:
Vassoio 1 pz.
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows)
Optional / accessori
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Plasma system FEMTO PCCE: sviluppo processo, pulizia, attivazione, etching per piccole serie.
Plasma system FEMTO PCCE
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