|
|
 |
| |
URZADZENIA PLAZMOWE - STANDARD PLASMA SYSTEMS
|
| |
[ PLASMA SYSTEM FEMTO UHP - PLASMA ETCHER ]
|
| |
|
| |
Dwulitrowe urzadzenie laboratoryjne plasma system FEMTO z pólautomatycznym sterowaniem jest stosowane glównie w nastepujacych dziedzinach:
- produkcja maloseryjna,
- analityka (REM, TEM),
- technika medyczna,
- sterylizacja,
- dzialy badawczo-rozwojowe,
- archeologia,
- przemysl tekstylny,
- technologia pólprzewodnikowa,
- technologia tworzyw sztucznych.
|
| |
Prospekt
FEMTO (PDF 1007 KB)
|
| |
|
| |
|
| |
Dane techniczne:
Plasma System Femto UHP
Szafa rozdzielcza:
szer. 345 mm, wys. 220 mm,
gl. 420 mm
Komora:
Ø 95 mm, dl. 270 mm, Öffnung Ø 90 mm
Objetosc komory:
ok. 1,9 litrós
Doprowadzenie gazu:
1 kanal gazowy przez zawór iglicowy
Generátor:
40kHz/100W, regulacja bezstopniowa
Pompa prózniowa:
Leybold, typ S1,5 (1,5m³/h)
Uchwyt obrabianych elementów:
1 nosnik produktów
Sterowanie:
pólautomatyczne, sterowanie czasem procesu za pomoca zegara
Opcje/osprzet
|
|
Male urzadzenie
plasma system FEMTO (version 8): opracowywanie procesów, czyszczenie, aktywowanie, trawienie w malych seriach
|
Dane techniczne::
Plasma System Femto UHP
Szafa rozdzielcza:
szer. 560 mm, wys. 310 mm, gl. 600 mm
Komora:
Ø 95 mm, dl. 270 mm, Öffnung Ø 90 mm
Werkstoffe:
Quarz oder Borosilikatglas
Vorder-u. Rückwand der Kammer: Aluminium
Objetosc komory:
ok. 1,9 litrós
Doprowadzenie gazu:
1 kanal gazowy przez zawór iglicowy
Generátor:
40kHz/100W, regulacja bezstopniowa
Pompa prózniowa:
Leybold, typ S1,5 (1,5m³/h)
Uchwyt obrabianych elementów:
1 nosnik produktów
Sterowanie:
pólautomatyczne, sterowanie czasem procesu za pomoca zegara
Opcje/osprzet
|
|
Male urzadzenie
plasma system FEMTO (version 9): opracowywanie procesów, czyszczenie, aktywowanie, trawienie w malych seriach |
|
| |
|
| |
Dane techniczne:
Plasma System Femto UHP
Szafa rozdzielcza:
szer. 562 mm, wys. 211 mm,
gl. 420 mm
Komora:
Ø 95 mm, dl. 270 mm,
Öffnung Ø 90 mm
Objetosc komory:
ok. 1,9 litrós
Doprowadzenie gazu:
2 kanaly gazowe przez zawór iglicowy
Generátor:
40 kHz/100W, regulacja bezstopniowa
Pompa prózniowa:
Leybold, typ S1,5 (1,5m³/h)
Uchwyt obrabianych elementów:
1 nosnik produktów
Sterowanie:
pólautomatyczne, sterowanie czasem procesu za pomoca zegara
Druckmessgerät:
Pirani
Opcje/osprzet |
Male urzadzenie
plasma system FEMTO (version 10):
opracowywanie procesów, czyszczenie, aktywowanie, trawienie w malych seriach
| |
| |
|
| |
Dane techniczne:
Plasma System Femto-PC UHP
Szafa rozdzielcza:
szer. 500 mm, wys. 460 mm,
gl. 550 mm
Komora:
Ø 95 mm, dl. 270 mm,
Öffnung Ø 90 mm
Objetosc komory:
ok. 1,9 litrós
Doprowadzenie gazu:
3 kanaly gazowe MFC
Generátor:
40 kHz/0-100 W
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Pompa prózniowa:
Leybold, typ S1,5 (1,5m³/h)
Uchwyt obrabianych elementów:
1 nosnik produktów
Sterowanie:
sterowanie PC (Windows)
Opcje/osprzet |
Male urzadzenie
plasma system FEMTO (version 11):
opracowywanie procesów, czyszczenie, aktywowanie, trawienie w malych seriach |
|
| |
|
| |
|
Dane techniczne:
Plasma System Femto UHP
Szafa rozdzielcza:
szer. 320 mm, wys. 500 mm, gl. 420 mm
Komora:
O 95 mm, dl. 270 mm, Öffnung Ø 90 mm
Objetosc komory:
ok. 1,9 litrós
Doprowadzenie gazu:
2 kanaly gazowe przez zawór iglicowy
Generátor:
40 kHz/100W, regulacja bezstopniowa
Pompa prózniowa:
Leybold, typ S1,5 (1,5m³/h)
Uchwyt obrabianych elementów:
1 nosnik produktów
Sterowanie:
pólautomatyczne, sterowanie czasem procesu za pomoca zegara
Druckmessgerät:
Pirani
Opcje/osprzet |
Male urzadzenie
plasma system FEMTO (version 12):
opracowywanie procesów, czyszczenie, aktywowanie, trawienie w malych seriach |
Podane ceny sa niewiazace.
W sprawie porad technicznych dotyczacych tego urzadzenia prosimy o kontakt.
|
|
|
