| |
Nasze urządzenia plazmowe są dostarczane z następującymi opcjami/osprzętem:
- Generator 13,56 MHz
Aby spełnić wymogi normy DIN EN 55011, nasze generatory 13,56 MHz są stabilizowane kwarcowo. Dopasowanie impedancji może być stałe, regulowane ręcznie bądź automatycznie. Głównymi obszarami zastosowań są aktywacja, czyszczenie, wytrawianie, półprzewodniki (front-end), półprzewodniki (back-end), polimeryzacja plazmowa.
- Generator 40 kHz
Dopasowanie impedancji jest możliwe tylko automatycznie, wersja o dwóch mocach. Głównymi obszarami zastosowań są aktywacja, czyszczenie, wytrawianie, półprzewodniki (back-end), polimeryzacja plazmowa.
- Generator 2,45 GHz - (mikrofale)
Moc wynosi od 0 do 300 watów, generator dysponuje interfejsem komputera PC. Głównymi obszarami zastosowań są aktywacja, czyszczenie, trawienie, półprzewodniki (front-end), półprzewodniki (back-end), polimeryzacja plazmowa.
- Rozdzielacz 2/2 dozujący ciecz
Zawór do dokładnego dozowania monomerów.
- Sterowanie półautomatyczne
Wyczerpujący opis różnych wariantów sterowania znajdą Państwo w menu w punkcie Urządzenia plazmowe/Sterowanie/Półautomatyczne.
Aby powiększyć, kliknij obrazek.
- Sterowanie automatyczne
Wyczerpujący opis różnych wariantów sterowania znajdą Państwo w menu w punkcie Urządzenia plazmowe/Sterowanie/Sterowanie w pełni automatyczne.
Aby powiększyć, kliknij obrazek.
- Sterowanie za pomocą komputera PC
Wyczerpujący opis różnych wariantów sterowania znajdą Państwo w menu w punkcie Urządzenia plazmowe/Sterowanie/PC-control.
Aby powiększyć, kliknij obrazek.
- Sterowanie PCCE
Na bazie systemu Windows CE, wyposażony w panel dotykowy.
Wyczerpujący opis różnych wariantów sterowania znajdą Państwo w menu w punkcie Urządzenia plazmowe/Sterowanie/PCCE.
Aby powiększyć, kliknij obrazek.
- Filtr z węglem aktywnym
Filtr z węglem aktywnym można łatwo wymienić.
- Filtr ssania do pompy próżniowej
Chroni pompę próżniową przed unoszącymi się w powietrzu drobinami, przed osadami i zabrudzeniem.
- Automatyczne drzwiczki
Drzwiczki, zamykające się automatycznie przy rozpoczynaniu procesu.
- Czytnik kodów kreskowych
Służący do śledzenia wsadu.
- Ogrzewana komora
Komora może być ogrzana do temperatury ok 80°C. Wysokość temperatury można regulować. Jest przeznaczona do określonych warunków procesu i wyższych stopni wytrawiania.
- Miernik stałego napięcia polaryzacyjnego
Miernik ten jest urządzeniem pomiarowym, dostępnym do generatorów wytwarzających częstotliwości w kHz i MHz.
- Bełkotka
Butla ta należy do osprzętu służącego do polimeryzacji i służy do doprowadzenia płynnych monomerów do komory próżniowej. Zamiast prostej butelki z monomerami, proces przebiega z użyciem gazu nośnego. Gaz nośny, np. argon jest płukany przez monomer.
- Zawór motylkowy
Zawór motylkowy jest używany do regulacji strumienia gazu, w technice próżniowej przede wszystkim w obrębie przewodu ssącego pompy próżniowej. Poprzez przestawienie zaworu klapowego, w mniejszym lub większym stopniu zamykającego przewód, zmieniony zostaje opór strumienia w przewodzie.
- Dokumentacja w języku narodowym
Dokumentacja jest sporządzona wg Dyrektywy ws. maszyn 89/392/EWG. Nie dotyczy to języka niemieckiego i angielskiego. Dokumentacja nie jest załączana do urządzenia i musi być zamówiona osobno.
- Bęben obrotowy
Rodzaj nośnika produktów służącego do zaopatrzenia w produkty sypkie.
- Ciśnieniomierze
Czujniki produkcji firm Pirani lub Baratron - wskazujące ciśnienie w komorze próżniowej.
 
- Reduktor ciśnienia
Reduktor ciśnienia jest przyłączany do butli z gazem - 200 barów. Różne gazy potrzebują różnych reduktorów ciśnienia. Dlatego jeden nadaje się do gazów szlachetnych, H2, O2, CF4, C4F8 a inny do NH3.
- Urządzenia kontroli przepływu
Przeznaczone do montażu w niskociśnieniowym urządzeniu plazmowym w automatycznej linii obróbki.
- Zestaw części zamiennych, standardowych lub z PFPE
Zestaw części zamiennych zawiera zawsze 1 pierścień zaciskowy, 1 uszczelkę, 1 wąż falowany ze stali szlachetnej (wąż próżniowy), jedną szybkę, 1 uszczelkę drzwiczek, 10 szt. bezpieczników czułych do urządzenia plazmowego, a także, w przypadku zestawu standardowego, 1 litr oleju mineralnego do pompy próżniowej, a w przypadku zestawu PFPE, 1 litr oleju PFPE do pompy próżniowej.
- Drukarka etykiet
Automatyczny wydruk etykiet po dokonaniu obróbki plazmowej.
- Czytnik etykiet
Do śledzenia wsadów.
- Klatka Faradaya
Do wspomagania obróbki części wrażliwych na ładunki elektryczne. Części, które mają być poddane obróbce znajdują się w klatce Faradaya. Może ona zostać wyjęta z komory próżniowej.
- Uchwyt na butlę gazową
Mocowany do stołu roboczego, regałów lub listew ściennych. Szerokość uchwytu wynosi 70 mm. Pas zaciskowy gwarantuje pewne mocowanie. Nadaje się do butli o dowolnym rozmiarze.
- Wykrywacz gazu (firmy Dräger)
Dodatkowy, opcjonalny osprzęt zabezpieczający podczas stosowania łatwopalnych gazów na stanowisku roboczym.
- Płyty grzewcze
Poddawane obróbce części leżą na płycie grzewczej, która może zostać podgrzana do temperatury max. 150°C i przeznaczona jest do określonych warunków procesu i wyższych stopni wytrawiania. Istnieją dwie opcje:
W wersji ze wskaźnikiem temperatury w obszarze komory próżniowej jest montowany czujnik temperatury, dzięki czemu można zmierzyć temperaturę powierzchni części.
W wersji z wskaźnikiem temperatury zintegrowanym ze sterowaniem z poziomu komputera PC wewnątrz komory próżniowej także jest montowany czujnik temperatury, dzięki czemu można zmierzyć temperaturę powierzchni części. Wartość temperatury jest wyświetlana na ekranie.
- Instalacja Państwa urządzenia plazmowego na miejscu
Ta opcja obejmuje czas podróży, czas instalacji oraz koszty podróży naszych pracowników serwisowych.
- Czujnik strumienia jonów
Pozwala na dodatkową kontrolę jakości plazmy podczas procesu.
- Wersja odporna na gazy korozyjne
Zawory ze stali szlachetnej, orurowanie ze stali szlachetnej. Niezbędne w polimeryzacji plazmowej lub w przypadku stosowania gazów powodujących korozję, np. NH3, H2O, CF4, SF6.
- Nośnik produktów dla specjalnych potrzeb klienta
Nasze urządzenia są standardowo wyposażane w jeden nośnik produktów. Kolejne, lub inne wersje mogą być wykonane po konsultacji z firmą Diener electronic. Służą optymalnemu wykorzystaniu urządzenia plazmowego.
- Spray lakierujący / zestaw płyt szklanych (test na brak LABS)
Osprzęt służący do przeprowadzania testu na nieprawidłowości w zwilżaniu lakieru (LABS). Zakres dostawy: Spray lakierujący w puszkach, 5 szt. po 400 ml. 100 sztuk płytek szklanych, o wymiarach 90 x 110 mm.
- System powolnego napełniania powietrzem komory próżniowej
Komora próżniowa jest powoli napełniana powietrzem przy zastosowaniu filtra. Dzięki temu unika się wirowania w powietrzu wewnątrz komory małych części.
- System powolnego wypompowywania powietrza z komory próżniowej
Powolne wypompowywanie powietrza z komory próżniowej za pośrednictwem zaworu obejściowego. Zapobiega to wirowaniu w powietrzu wewnątrz komory małych części.
- Dłuższe komory próżniowe (Femto, Pico, Nano...)
Zgodnie z normą DIN 12198 na naszych urządzeniach (wzierniki) przeprowadzono pomiar natężenia promieniowania UV. Rezultat: promieniowanie jest nieznaczne. Komory próżniowe są dostępne w wersji ze stali szlachetnej, szkła borowo-krzemowego lub szkła kwarcowego. Zamknięcie komory może być w postaci pokrywy lub drzwiczek na zawiasach. Długość komory próżniowej jest zależna od Państwa wymogów dotyczących zastosowania obróbki plazmowej. Prosimy o kontakt.
- Wskaźnik mocy
Wskaźnik mocy generatora. Instrument analogowy.
- Elektroda półkowa
Elektroda półkowa jest przeznaczona do zastosowania w okrągłych i/lub prostokątnych komorach próżniowych. Dzięki niej można poddawać obróbce większą ilość części jednocześnie. Obszar zastosowań to standardowa obróbka plazmowa. Prosimy o kontakt z firmą Diener electronic odnośnie dokładnej konstrukcji elektrody dostosowanej do Państwa indywidualnych wymagań oraz innych materiałów dotyczących wytworzenia nośnika produktów.
- Wykrywacz przecieku mikrofal
Ze względu na niebezpieczne promieniowanie, przydatne jest zamontowanie wykrywacza przecieku mikrofal w urządzeniach wykorzystujących takie promieniowanie.
- Butla monomerów
Osprzęt polimeryzacyjny. Montowany w celu doprowadzenia płynnych monomerów do komory próżniowej.
- Przyłącze sieciowe
Umożliwia połączenie sieciowe urządzenia z komputerem.
- OES - Optyczny spektrometr emisyjny
Pozwala na nadzór nad procesem obróbki plazmowej w celu kontroli jakości. Wykrywanie punktu końcowego procesu obróbki plazmowej. OES można stosować wyłącznie w przypadku urządzeń sterowanych za pośrednictwem komputera PC.
- Osprzęt polimeryzacyjny
Obejmuje butelkę parownika, wagę, pompę dozującą, układ podgrzewania, ew. uchwyt.
- Butla gazu procesowego
Butla z tlenem, podłączana jako butla z gazem procesowym o pojemności 2, 5 i 10 litrów, butla z wodorem o objętości 2 litrów, butla z argonem o objętości 5 litrów. Dla dostawy gazu należy uwzględnić specjalne urządzenia transportowe. W przypadku urządzeń wynajmowanych, należy dokupić butlę.
- Łódeczka kwarcowa
Dostępna w dwóch rozmiarach. Do procesów obróbki plazmowej o ultrawysokiej czystości lub do obróbki płytek.
- Elektroda RIE
W postaci okrągłej lub prostokątnej, wykonana ze stali szlachetnej, pozwala na uzyskanie wysokiego stopnia wytrawienia. Obszar zastosowań to wytrawianie izotropowe i anizotropowe.
- Elektroda RIE wyposażona w dyszę gazową
Prostokątna, ze stali szlachetnej. Pozwala uzyskać wysoki stopień wytrawienia dzięki jednorodnemu rozkładowi gazu. Obszar zastosowań to wytrawianie anizotropowe.
- System "z rolki na rolkę"
Np. do obróbki folii/lead-frames.
- Generator tlenu
Tlen generowany jest z powietrza. Typ Kröber O2. Wydajność: 3-6 l tlenu /min.
- Zawór bezpieczeństwa
Do pracy z gazami palnymi, np. wodorem, etynem ...
- Elektrody specjalne oraz nośniki produktów
Proszę o skontaktowanie się z Diener electronic odnośnie dokładnej konstrukcji Państwa indywidualnej elektrody, jak i innych materiałów do produkcji nośników produktów.
- Kołnierze specjalne /dodatkowe
Kołnierze specjalne stosowane są, gdy potrzebna jest większa ilość przyłączy niż dostępna.
- Specjalne komory próżniowe
Zgodnie z DIN 12198 na naszych instalacjach (wziernik) przeprowadzono pomiar natężenia napromieniowania UV. Rezultat: neutralne. Specjalne komory próżniowe występują w wersjach: okrągła z pokrywą, prostokątna z drzwiczkami na zawiasach, obie z aluminium i różniące się między sobą średnicą otworów oraz wymiarami wewnętrznymi. Prosimy o kontakt.
- Elektroda standardowa okrągła lub prostokątna
Ze stali szlachetnej/blachy aluminiowej dla standardowych procesów obróbki plazmowej.
- Uchwyt na próbki TEM
Specjalny przyrząd do wprowadzania z zewnątrz do komory plazmowej. Każdy rozmiar jest możliwy do realizacji. Prosimy o dostarczenie informacji odnośnie wymiarów/rysunków Państwa części.
- Wskaźnik temperatury
Wskaźnik temperatury komory bez płyty grzewczej. Wewnątrz komory próżniowej montuje się czujnik temperatury. Dzięki temu można zmierzyć temperaturę powierzchni elementu konstrukcji. Wskaźnik temperatury istnieje również w wersji zintegrowanej ze sterowaniem per PC. W tym przypadku temperatura wyświetlana jest na ekranie.
- Zestaw atramentów testowych
Atramenty testowe do prostej analizy energii powierzchniowej. W jednym zestawie zawarte są pojemności: 28, 38, 56, 64, 72 oraz 105 mN/m. Inne wielkości dostępne są na zapytanie.
- Parownik termiczny
Dla substancji z niskim ciśnieniem pary. Średnica miski: 16 mm, Pojemność miski: 0,1 l. Ochrona przed działaniem plazmy, kontrola temperatury (max. 500°C) oraz prędkości wzrastania temperatury (do 250°C/min). Przyłącze przez przepust z małym kołnierzem.
- Timer LT4H
Zamiast standardowego timera do ustawianie czasu procesowego.
- Komory próżniowe ze szkła (borokrzem lub kwarc)
Komory próżniowe ze szkła borokrzemowego do procesów obróbki plazmowej najwyższej czystości, komory próżniowe ze szkła kwarcowego do procesów obróbki plazmowej o stopniu ultraczystości.
- Komory próżniowe ze stali szlachetnej
Komory próżniowe ze stali szlachetnej do standardowych procesów obróbki plazmowej.
- Stacje pomp próżniowych
Pompa łopatkowa lub suchobieżna z olejem mineralnym lub PFPE. Dostarczane pompy są już napełnione olejem.
- Urządzenie do obróbki proszku
Proszek obrabiany jest w obracającej się butli do gazu. W celu napełniania butla może zostać wyjęta z instalacji.
- Chłodzenie wodą
Chłodzenie wodno-powietrzne z kółkami do zastosowania przenośnego. Przyłącze bezpotencjałowe poprzez 2 zestyki przełączne dla podłączenia pompy.
- Umowa serwisowa dla Twojej instalacji plazmowej
Oferta konserwacji ze strony Diener electronic zawiera kompleksowy serwis. Wymiana oleju, kontrola wszystkich przyłączy, uszczelek, wtyczek itp., badanie wskaźników przecieku, regulacja czujnika ciśnienia oraz kontrola działania. W celu uzyskania dalszych informacji na temat konserwacji i serwisu, proszę kliknąć na punkt menu Doradztwo/Serwis.
- Worek do prania
Do wstępnego czyszczenia małych elementów w pralce. Wymiary: 500 mm x 300 mm. Minimalna ilość zamówienia: 20 sztuk.
- Pralko-suszarka
W celu pierwszego wyczyszczenia małych elementów przed obróbką plazmową. Konieczne wyłącznie w przypadku bardzo zabrudzonych części. Producent: Miele: Typ WT 2670 WPM.
- Chłodzona wodą płyta nośnika towarów
Chłodzona wodą płyta montowana jest na dnie komory i dostarczana jest łącznie z pompą wodną i zbiornikiem na wodę. Stosowana jest w celu chłodzenia części wrażliwych na ciepło.
- Dalsze funkcje oprogramowania
Oprogramowanie może zostać rozszerzone o dalsze opcje. Prosimy o informację odnośnie Państwa wymagań.
- Dodatkowe kanały gazowe
Zawory igłowe: nasze urządzenia mogą zostać wyposażone w dowolną ilość zaworów igłowych. Standardowa ilość w instalacji plazmowej typu Femto to 1-3 sztuki, większa ilość możliwa na zapytanie.
- Dodatkowe MFCs
MFCs: konieczne w przypadku sterowania PC i PCCE. Nasze urządzenia mogą zostać wyposażone w dowolną ilość Mass-Flow-Controller (MFCs).
Elementy opcjonalne w większości przypadków mogą zostać zamontowane później. |
)
)
)
)
