| |
Powierzchnia jest czyszczona fizycznie, przez bombardowanie jonami, a takze, zaleznie od rodzaju gazu, przez reakcje chemiczne. Zanieczyszczenia sa przetwarzane do fazy gazowej i odsysane.
Zastosowania deposition of surfaces:
- usuwanie smarów, olejów, tlenków lub silikonów (nie zawierajacych alkilobenzenosulfonianów prostolancuchowych - LABS) (removing)
- wstepna obróbka przed mikromontazem, lutowaniem lub klejeniem (pre-treatment)
- wstepna obróbka elementów metalowych przed lakierowaniem (pre-treatment)
|
