| |
owierzchnia jest wytrawiana reaktywnym gazem procesowym. Material jest zdejmowany, przetwarzany do fazy gazowej i odsysany. Powoduje to zwiekszenie powierzchni i nadaje bardzo dobra charakterystyke zwilzania.
Zastosowania plasma etching of surfaces:
- np. strukturyzacja krzemu,
- osiaganie dobrej przyczepnosci lakierów i klejów dla tworzyw sztucznych odpornych na wysokie temperatury, jak teflon (PTFE), zywica perfluoroalkoksylowa (PFA) i fluorowana zywica etylenowo-propylenowa (FEP)
|
