| |
FAQ – ПЛАЗМА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
|
| |
[ ОТВЕТЫ НА НАИБОЛЕЕ ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ ]
|
| |
|
| |
- Что необходимо подготовить для использования плазменной установки (подключения и т. д.)
- Что такое плазменная активация?
- Что такое плазменное травление?
- Что такое плазма?
- Что такое плазменный реактор травления?
- Что такое плазменный очиститель?
- Что такое плазменный испепелитель?
- Какие газы могут использоваться?
- Может ли обрабатываться только один фрагмент изделия?
- Можно ли применять плазму при работе с комбинированными материалами?
- Возможна ли обработка плёнки?
- В какой мере могут измениться или улучшиться свойства поверхности при плазменной обработке?
- В каком диапазоне давлений проводятся работы?
- Какие материалы могут подвергаться плазменной обработке?
- Сопровождается ли процесс выделением ядовитых и легковоспламеняющихся газов?
- Сопровождается ли плазменная обработка вредным для человека излучением?
- До какой толщины слоя может производиться травление?
- Каковы возможности применения?
|
| |
|
| |
|
| |
[ Что необходимо подготовить для использования плазменной установки (подключения и т. д.) ]
|
| |
|
| |
Для небольших установок необходимо напряжение 230 вольт и вытяжка для отработанных газов, выходящих из вакуумного насоса. Для больших установок нужно напряжение в 400 В, также нужна подача сжатого воздуха с давлением 5-6 бар и вытяжка. |
| |
|
| |
 |
| |
|
| |
|
| |
[ Что такое плазменная активация? ]
|
| |
|
| |
Плазменная активация – это образование радикалов на обрабатываемой поверхности. Клеящие вещества и лаки лучше удерживаются на активированной поверхности. Время обработки от 1 до 5 минут. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ Что такое плазменное травление? ]
|
| |
|
| |
При длительном времени обработки (более 5 мин.) удаляется поверхностный слой. Такое травление приводит к структурированию и увеличению поверхности, что, в свою очередь, дает возможность для более надежного закрепления клеящих веществ и лаковых покрытий. Применяется, главным образом, для обработки синтетических материалов, эластомеров и полупроводников. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ Что такое плазма? ]
|
| |
|
| |
Плазма – это ионизированный газ, в котором нейтральные атомы расщеплены на ионы и электроны. Плазма образуется из газа, проходящего через электрический разряд, который передает свою энергию молекулам этого газа. Для возбуждения плазмы могут использоваться как источники переменного, так и постоянного тока. Плазма, образующаяся в области давления ниже 10 мбар, называется плазмой низкого давления. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ Что такое плазменный реактор травления? ]
|
| |
|
| |
Плазменные установки зачастую называют плазменными реакторами травления. С помощью таких установок можно выполнять травление разных поверхностей. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ Что такое плазменный очиститель? ]
|
| |
|
| |
Плазменные установки называют также „плазменными очистителями“. С помощью таких установок действительно можно очищать различные поверхности от загрязнений. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ Что такое плазменный испепелитель? ]
|
| |
|
| |
Плазменные установки называют иногда „плазменными испепелителями“, поскольку с их помощью „испепеляют“, т. е. удаляют фотолаки. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ Какие газы могут использоваться? ]
|
| |
|
| |
Главным образом используются следующие газы:
кислород
водород
аргон
азот
фторсодержащие газы и их смеси
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ Может ли обрабатываться только один фрагмент изделия? ]
|
| |
|
| |
С помощью специального трафарета можно защитить поверхность (отдельный фрагмент поверхности) от плазменного воздействия (например, при сварке пластмасс необходимо защитить от плазменного воздействия место сварки, чтобы получить качественный сварочный шов). |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[Можно ли применять плазму при работе с комбинированными материалами? ]
|
| |
|
| |
Комбинированные материалы могут обрабатываться плазмой. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ Возможна ли обработка плёнки? ]
|
| |
|
| |
В общей сложности плазменная обработка плёнок возможна. Однако для этого необходимы специальные установки. Плёнка во время обработки перематывается с одного рулона на другой. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ В какой мере могут измениться или улучшиться свойства поверхности при плазменной обработке? ]
|
| |
|
| |
Плазменная обработка, как правило, повышает поверхностное натяжение, что приводит к улучшению «смачиваемости» этой поверхности. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ В каком диапазоне давлений проводятся работы? ]
|
| |
|
| |
Диапазон рабочего давления составляет от 0,1 до 1 мбар. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ Какие материалы могут подвергаться плазменной обработке? ]
|
| |
|
| |
В принципе никаких ограничений нет. Главное, чтобы обрабатываемые материалы не выделяли газ или выделяли его в очень малом количестве (материалы должны быть приспособлены к вакууму). |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ Сопровождается ли процесс выделением ядовитых и легковоспламеняющихся газов? ]
|
| |
|
| |
Поскольку работы проводятся в вакууме, расход газа очень незначительный. Поэтому возможны только весьма незначительные эмиссии. Насосная система промывается в процессе эксплуатации. Воспламеняющиеся газы разбавляются до состояния ниже уровня воспламенения. При использовании ядовитых или фторсодержащих газов применяются дополнительные фильтры для очистки отработанного газа. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ Сопровождается ли плазменная обработка вредным для человека излучением? ]
|
| |
|
| |
Излучение, возникающее внутри рабочей камеры плазменной установки, абсорбируется и не попадает в окружающую среду. Опасности не существует. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ До какой толщины слоя может производиться травление? ]
|
| |
|
| |
Уровень травления зависит от заданной мощности и применяемого газа. Глубина травления может быть от 10 до 100 мкм в час. |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ Каковы возможности применения? ]
|
| |
|
| |
Плазменная обработка может применяться в самых различных областях. Главные области применения: очистка, активация, травление и нанесение покрытий на поверхность. |
| |
|
| |
|
| |
|
