Технические характеристики:
Plasma cleaner Atto
Шкаф распределительного устройства:
Ш 425мм, В 275мм, Г 450мм
Камера:
Материал стекло, Ø 211 мм, Г 300 мм
Объем камеры:
~ 10,5 литра
Подвод газа:
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами
Генератор:
40 кГц /200 Вт или 13,56 мГц /50 Вт
Вакуумный насос:
Всасывающий: 2 м³/час
Комплектация:
Подложка для обрабатываемых образцов– 1 шт.
Управление:
Ручное, время устанавливается таймером
|
|
low cost plasma system ATTO:
Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
|
