|
|
 |
| |
ПЛАЗМЕННЫЕ УСТАНОВКИ –
СТАНДАРТНЫЕ УСТАНОВКИ - STANDARD PLASMA SYSTEMS
|
| |
[ PLASMA SYSTEM FEMTO - PLASMA CLEANER]
|
| |
|
| |
Двухлитровая лабораторная
установка „Plasma system FEMTO“ с
полуавтоматическим управлением
применяется в следующих областях:
- Малосерийное производство
- Аналитика (REM, TEM)
- Медицинская техника
- Стерилизация
- Научно-исследовательские
работы
- Археология
- Текстильное производство
- Полупроводниковые технологии
- Технологии обработки
искуcственных материалов
|
| |
Брошюры (англ.) FEMTO (PDF 1007
KB) |
| |
|
| |
|
| |
Технические
характеристики:
Plasma cleaner Femto timer (модель 1)
Шкаф распределительного
устройства:
Ш 345мм, В 220мм, Г 420мм
Камера:
Ø 100 мм, Г 270 мм
Объем камеры:
~ 2 литра
Подвод газа:
1 регулятор расхода газа с
игольчатым клапаном
Генератор:
40 кГц / 100 Вт, бесступенчатый
Вакуумный насос:
Leybold, тип S1,5 (1,5м³/ч)
Комплектация:
Подложка для обрабатываемых
образцов– 1 шт.
Управление:
Ручное, время устанавливается
таймером
ОПЦИИ
/ ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ
ПЛАЗМЕННЫХ
УСТАНОВОК
|
|
Plasma System FEMTO timer (модель 1):
Исследовательские работы,
очистка, активация, травление
(мелкосерийные процессы)
|
Технические
характеристики:
Plasma cleaner Femto
(модель 2)
Шкаф
распределительного
устройства:
Ш 560 mm, В 310 mm, Г 600 mm
Камера:
Ш 100 mm, В 100 mm, Г 280 mm
Объем камеры:
~ 2 литра
Подвод газа:
1 регулятор расхода газа с
игольчатым клапаном
Генератор:
40 кГц / 100 Вт, бесступенчатый
Вакуумный насос:
Leybold, тип S1.5 (1.5m/h)
Комплектация:
Подложка для обрабатываемых
образцов– 1 шт.
Управление:
Ручное, время устанавливается
таймером
ОПЦИИ
/ ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ
ПЛАЗМЕННЫХ
УСТАНОВОК
|
|
Plasma system FEMTO (модель 2):
Исследовательские работы,
очистка, активация, травление
(порт с дверцей на шарнирах)
Цена по запросу
|
|
| |
|
| |
Технические
характеристики:
Plasma cleaner Femto (модель 3)
Шкаф
распределительного
устройства:
Ш 562 mm, В 211 mm, Г 420 mm
Камера:
Ø 100 mm, Г 270 mm
Объем камеры:
~ 2 литра
Подвод газа:
2 регулятора расхода газа с
игольчатыми клапанами
Генератор:
40 кГц / 100 Вт, бесступенчатый
Вакуумный насос:
Leybold, тип S1.5 (1.5m/h)
Комплектация:
Подложка для обрабатываемых
образцов– 1 шт.
Управление:
Ручное, время устанавливается
таймером
Датчик давления:
Pirani
ОПЦИИ
/ ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ
ПЛАЗМЕННЫХ
УСТАНОВОК
|
Plasma system FEMTO (модель 3) :
Исследовательские работы,
очистка, активация, травление
(мелкосерийные процессы)
Цена по запросу
|
|
| |
|
| |
Технические
характеристики:
Plasma cleaner Femto (модель 4)
Шкаф
распределительного
устройства:
Ш 562 mm, В 460 mm, Г 550 mm
Камера:
Ø 100 mm, Г 270 mm
Объем камеры:
~ 2 литра
Подвод газа:
3 канала подвода газа с
электронной регулировкой (MFC)
Генератор:
40kHz/0-100 W
(или: 13,56 МГц, 2,45 ГГц)
Вакуумный насос:
Leybold, тип S1.5 (1.5m/h)
Комплектация:
Подложка для обрабатываемых
образцов– 1 шт.
Управление:
ПК управление работает с Windows
(Для более полной информации
относительно ПК управления
обратитесь на нашу страницу.)
ОПЦИИ
/ ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ
ПЛАЗМЕННЫХ
УСТАНОВОК
|
Plasma system FEMTO-PC (модель 4) :
Исследовательские работы,
очистка, активация, травление
(мелкосерийные процессы)
Цена по запросу |
|
| |
Технические
характеристики:
Plasma cleaner Femto (модель 5)
Шкаф
распределительного
устройства:
Ш 320 mm, В 500 mm, Г 420 mm
Камера:
Ш 100 mm, В 270 mm, Г 280 mm
Объем камеры:
~ 2 литра
Подвод газа:
2 регулятора расхода газа с
игольчатыми клапанами
Генератор:
40 кГц / 100 Вт, бесступенчатый
Вакуумный насос:
Leybold, тип S1.5 (1.5m/h)
Комплектация:
Подложка для обрабатываемых
образцов– 1 шт.
Управление:
Ручное, время устанавливается
таймером
Датчик давления:
Pirani
ОПЦИИ
/ ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ
ПЛАЗМЕННЫХ
УСТАНОВОК
|
Plasma system FEMTO (модель 5) :
Исследовательские работы,
очистка, активация, травление
(мелкосерийные процессы)
Цена по запросу
|
|
| |
Указанные цены не являются
окончательными.
Для получения дальнейшей
технической информации об этой
установке свяжитесь с нами. .
|
| |
|
| |
|
|
|
