| |
Технические характеристики:
Plasma cleaner TETRA 150-LF
Шкаф распределительного устройства:
Ш 1000 mm, В 2.100 mm, Г 1000 mm
Камера:
Ш 400 mm, Г 625 mm, В 600 mm
Объем камеры:
~ 150 литров
Подвод газа:
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами
Генератор:
40 кГц / 0 – 2.500 Вт
(опционально: 13.56 МГц или 2.45 ГГц)
Вакуумный насос:
Leybold, тип D65B (65 m³/h)
Комплектация:
До 16 ярусов(до 16 подложек для обрабатываемых образцов)
(опционально: вращающийся барабан)
Управление:
ПК управление (Windows)
ОПЦИИ / ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ ПЛАЗМЕННЫХ УСТАНОВОК |
|
Plasma system TETRA-150-LF для очистки, активации и травления поверхности в промышленном производстве.
Шестиярусный блок загрузки камеры и вращающийся барабан для систем TETRA (plasma system) |
