| |
Технические характеристики:
Plasma cleaner TETRA-30-LF
Шкаф распределительного устройства:
Ш 600 mm, В 2.200 mm, Г 650 mm
Камера:
Ш 305 mm, В 300 mm, Г 370 mm
(опционально: Г 625 mm)
Объем камеры:
~ 34 литра
Подвод газа:
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами
Генератор:
40кГц/0-1000 Вт
(опционально: 13.56 МГц или 2.45 ГГц)
Вакуумный насос:
Leybold, тип D16B (16 m³/h)
Комплектация:
до 6 ярусов(до 6 подложек для обрабатываемых образцов)
(опционально: вращающийся барабан)
Управление:
автоматическое, время устанавливается таймером
ОПЦИИ / ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ ПЛАЗМЕННЫХ УСТАНОВОК |
|
Промышленная установка (plasma system) „TETRA-30-LF“ с автоматическим управлением для: очистки, активации, травления, нанесения покрытий |
