| |
Teknik Veriler:
Plasma etcher Pico UHP
Kumanda dolabı:
G 550 mm, Y 330 mm, D 500 mm
Hücre:
Ø 130 mm, L 300 mm
Hücre açıklığı Ø: 125 mm
İşletim maddeleri: Kuvars veya borosilikat cam
Hücrenin ön ve arka paneli: Alüminyum
Hücre hacmi:
yakl. 4 litre
Gaz girişi:
iğneli valf üzerinden 2 gaz kanalı
Alternatör:
40kHz/100W, kademesiz
(Opsiyonel: 13,56 MHz veya 2,45 GHz)
Vakum pompası:
Leybold, Trivac D2,5B tipi (2,5 m³/h) Parça
girişi:
1 ad. ürün taşıyıcısı
Kumanda:
yarı otomatik, zamanlayıcı üzerinden işlem
süresi
Seçenekler/Aksesuarlar
|
|
Küçük sistem PICO UHP: optik yapı
elemanlarının temizliği için bu sistem de
uygundur.
PICO UHP cam alıcısında plazma.
|
