| |
Plazma tesislerimiz aşağıda belirtilen seçenekler/aksesuarlar ile temin edilebilir:
- 13,56 MHz alternatör
DIN EN 55011 koşullarına uymak için 13,56 MHz alternatörlerimiz kuartz stabilizelidir.
Empedans eşleştirmesi sabit, manüel veya otomatik olarak yapılabilir.
Başlıca kullanım alanları şunlardır; aktive etme, temizleme, koterizasyon, yarı iletken (front-end), yarı iletken (back-end), plazma polimerizasyonu.
- 40 kHz alternatör
Empedans eşleştirmesi sadece otomatik olarak yapılabilir, performans iki yapıda mevcuttur. Başlıca kullanım alanları şunlardır; aktive etme, temizleme, koterizasyon, yarı iletken (back-end), plazma polimerizasyonu.
- 2,45 GHz alternatör (mikro dalga)
Performansı 0–300 Watt arasındadır, alternatörde bir PC ara yüzü mevcuttur. Başlıca kullanım alanları şunlardır; aktive etme, temizleme, koterizasyon, yarı iletken (front-end), yarı iletken (back-end), plazma polimerizasyonu.
- 2/2 sıvı dozajı için kontrol valfi
Monomerlerin hedeflenmiş dozajı için valf.
- Yarı otomatik kumanda
Çeşitli kumanda varyantlarımızın ayrıntılı bir tanımlamasını; plazma tesisleri/kumanda/yarı otomatik kumanda menü sekmesi altında bulabilirsiniz.
Görüntüyü büyütmek için resmin üstüne tıklayınız.
- Tam otomatik kumanda
Çeşitli kumanda varyantlarımızın ayrıntılı bir tanımlamasını; plazma tesisleri/kumanda/tam otomatik kumanda menü sekmesi altında bulabilirsiniz.
Görüntüyü büyütmek için resmin üstüne tıklayınız.
- PC kumanda
Çeşitli kumanda varyantlarımızın ayrıntılı bir tanımlamasını; plazma tesisleri/kumanda/PC kumanda menü sekmesi altında bulabilirsiniz.
Görüntüyü büyütmek için resmin üstüne tıklayınız.
- PCCE kumanda
Windows CE temelinde dokunmatik panel. Çeşitli kumanda varyantlarımızın ayrıntılı bir tanımlamasını; plazma tesisleri/kumanda/PCCE kumanda menü sekmesi altında bulabilirsiniz.
Görüntüyü büyütmek için resmin üstüne tıklayınız.
- Aktif kömür filtresi
Aktif kömür filtresi kolayca değiştirilebilir.
- Vakum emme filtresi
Vakum pompasını uçuşan parçalardan, kaplama ve kirlenmeye karşı korur.
- Otomatik kapı
Bu kapı, proses başlangıcında otomatik olarak kapanan bir kapıdır.
- Barkod okuyucu
Şarjların takibini yapmak için.
- Isıtılabilir oda
Oda, yaklaşık 80°C’ye kadar ısıtılabilir. Sıcaklık ayarlanabilir. Bu, tanımlanmış proses koşulları ve yüksek koterizasyon oranları içindir.
- Bias voltaj ölçümü
Bias voltaj ölçümü bir ölçüm cihazdır ve kHz ile MHz alternatörleri için edinilebilir.
- Bubbler şişesi
Bubbler şişesi, polimerizasyon aksesuarlarına dahildir ve sıvı momomerlerin vakum odasına bağlanması içindir. Basit monomer şişesi yerine bir taşıyıcı gaz ile çalışılır. Taşıyıcı gaz örneğin argon, monomer aracılığı ile atılır.
- Kelebek valf
Kelebek valf, vakum tekniğinde özellikle vakum pompası emme tertibatında gaz akışını düzenlemek için kullanılır. Bunun için tertibatı az ya da çok kapatabilen bir kapak ile tertibattaki akım direnci değiştirilebilir. /li>
- İlgili ülke dilinde dokümantasyon
Dokümantasyon, 89/392/EWG makine yönergesi uyarınca hazırlanır. Bu durum Almanca ve İngilizce dilleri için geçerli değildir. Dokümantasyon, tesis ile birlikte otomatikman verilmediği için ayrıca sipariş edilmelidir.
- Döner tambur
Dökme maddelerin işlenmesi için.
- Basınç ölçüm cihazları
Vakum odasındaki basıncı gösteren Pirani sensoru veya Baratron göstergesi.
 
- Basınç düşürücü
Basınç düşürücü gaz şişesine bağlantılıdır - 200 bar. Değişik gazlar için farklı basınç düşürücülere ihtiyaç vardır. Bu bağlamda H2, O2, CF4, C4F8 asal gazlar için bir adet, NH3 için de yine bir adet basınç düşürücü mevcuttur.
- Sirkülasyon sistemleri
Bu sistemler, alçak basınçlı bir plazma tesisinin otomatik bir işleme hattı ile entegrasyonu içindir.
- Standart veya PFPE yedek parçalar
Yedek parça takımının her biri şunları içerir: 1 bağlama halkası, 1 conta, 1 paslanmaz çelik dalga hortumu (vakum hortumu), 1 pencere camı, 1 kapı contası, plazma tesisi için 10 adet mikro sigorta, standart takımda vakum pompası için 1 litre madeni yağ ve PFPE takımda vakum pompası için 1 litre PFPE yağı.
- Etiket yazıcısı
Plazma işleminden sonra etiketlerin otomatik olarak basılması içindir.
- Etiket okuyucusu
Şarjların takip edilmesi içindir.
- Faraday kutusu / kafes
Elektriğe duyarlı yapı parçaları içindir. İşlenecek yapı parçaları Faraday kutusunda bulunur. Bunlar, vakum odasından dışarıya alınabilir.
- Gaz şişesi tutucusu
Çalışma masası, raflar veya duvar pervazlarına sabitlemede kullanılır. Kanat genişliği 70 mm. Germe kemeri boşluksuz olarak sabitler. Tüm şişe ebatları için uygundur.
- Gaz uyarı cihazı (Dräger)
İşyerinde kullanılan alev alabilen gazlar için ek güvenlik opsiyonu.
- Isıtma plakaları
İşlenecek parçalar ısıtma plakasına konularak maksimum 150°C’ye kadar ısıtılabilir. Tanımlanmış proses koşullarına ve yüksek koterizasyon oranları için uygundur. İki opsiyon mevcuttur:
Isı gösterge cihazı ile donatılan bir ısı sensörü vakum odasına sokulur, böylece yapı parçası yüzey ısısı ölçülebilir.
PC kumandasına entegre edilen ısı gösterge cihazı ile donatılan bir ısı sensörü vakum odasına sokulur, böylece yapı parçası yüzey ısısı ölçülebilir. Burada ısı, ekranda gösterilir.
- Plazma tesisinizin yerinde kurulumu
Bu opsiyonun kapsamına; servis çalışanlarımızın yolculuk süreleri, çalışma süreleri ile yolculuk masrafları girmektedir.
- İyon akımı ölçüm sensörü
Proses esnasında plazmanın ek kalite kontrolü için.
- Korosif gaz versiyonu
Paslanmaz çelikten mamul valfler. Plazma polimerizasyonunda veya NH3, H2O, CF4, SF6 gibi korosif gaz uygulamalarında zorunlu olarak kullanılması gerekir.
- Müşteriye özel ürün taşıyıcısı
Tesislerimiz standart olarak daima bir ürün taşıyıcısı ile sevk edilir. Ek veya diğer başka uygulamalar, Diener electronic ile konuşularak hazırlanabilir. Plazma tesisinin optimal kullanımı içindir.
- Lacksprey / Cam plaka seti (LABS muaf testi)
Lack kaplama arıza testlerinin uygulanabilmesi için gerekli aksesuardır. Teslimat şekli:
Kutu Lacksprey, 5 adet her biri 400 ml. 100 adet cam plaka, her biri 90 mm x 110 mm.
- Vakum odasının yavaşça havalandırılması
Vakum odası bir filtre aracılığıyla yavaşça havalandırılır. Bu işlemle küçük yapı parçalarının oda içinde uçuşması önlenir.
- Vakum odasının yavaşça pompalanması
Vakum odasının bypass valfi ile yavaşça pompalanmasıdır. Bu işlemle küçük yapı parçalarının oda içinde uçuşması önlenir.
- Daha uzun vakum odaları (Femto, Pico, Nano,…)
DIN 12198 uyarınca tesislerimizde (gözetleme camı) bir UV ışınlanma şiddeti ölçümü yapılmaktadır. Sonuç: sakıncasız. Vakum odaları; paslanmaz çelik, borosilikat camı veya kuvars camı olarak teslim edilebilir. Oda kapağı, örtü ve kapı arasından menteşeli olarak seçilebilir. Vakum odalarının uzunluğu sizin talebinize ve plazma uygulamasına bağlıdır. Bu konuyu bizimle konuşun.
- Performans göstergesi
Alternatör performans göstergesidir. Analog gösterge enstrümanı.
- Mehretagen elektrodu
Mehretagen elektrodu, yuvarlak ve/veya sağ tarafı köşeli vakum odaları için temin edilebilir. Birden çok parçada bir defada uygulanabilir. Kullanım alanı standart plazma prosesleri içindir. Bireysel elektrot ihtiyaçlarınızın tam bir konstrüksiyonu ile ürün taşıyıcıların üretimi için gerekli malzemeler konusunda, Diener electronic ile ayrıntılı olarak görüşünüz.
- Mikrodalga çatlak test cihazı
Tehlikeli ışıma etkisinden dolayı, mikrodalga tesislerde bir mikrodalga çatlak test cihazı kullanımı faydalı olabilir.
- Monomer şişesi
Polimerizasyon aksesuarıdır. Sıvı monomerlerin vakum odasına bağlanması içindir.
- Ağ bağlantısı
Tesisin bir bilgisayar ile bağlanmasına imkan verir.
- OES optik emisyon spektrometresi
Plazma prosesi kalite güvenliğinin denetlenmesi içindir. Plazma prosesinin son aşamasının denetlenmesi. OES, sadece PC kumandalı bir tesisle bağlanabilir.
- Polimerizasyon aksesuarı
Buharlaştırma şişesi, bir adet terazi, dozaj pompası, ısıtma, gerektiğinde kıskaçtan oluşur.
- Proses gazı-şişe
Proses gazı olarak kullanılmak üzere 2, 5 ve 10 litrelik oksijen şişesi, 2 litrelik hidrojen şişesi, 5 litrelik argon şişesi. Gazların teslimatı için özel nakliye koşulları dikkate alınmalıdır. Kiralanan tesislerde şişelerin satın alınması zorunludur.
- Kuvars cam teknesi
İki farklı boyutta edinilebilir. Ultra temiz plazma prosesleri veya dilimli işleme için.
- RIE elektrodu
Yuvarlak ve sağ tarafı köşeli seçenekleri mevcuttur, daha yüksek koterizasyon oranları sağlar. Uygulama alanları izotrop ve anizotrop koterizasyondur.
- RIE elektrodu gaz duşu ile
Sağ tarafı köşeli paslanmaz çelikten mamul. Homojen gaz dağıtımı ile birlikte daha yüksek koterizasyon oranları elde edilir. Uygulanma alanı anizotrop koterizasyondur.
- Rulodan-ruloya sistemi
Örneğin, folyoların / lead-frame’lerin işlenmesi için.
- Oksijen jeneratörü
Oksijen, ortam havasından üretilir. Tip Kröber O2. Oksijen performansı: 3-6 l/dak.
- Emniyet valfi
Örneğin, hidrojen, etin vb. yanıcı gazlarla yapılan işletimlerde.
- Özel elektrodlar ve ürün taşıyıcıları
Ürün taşıyıcıları ile ilgili özel elektrod ve diğer malzemelerin üretimi konusunda tam bir konstrüksiyonun sağlanabilmesi için Diener electronic ile lütfen irtibata geçiniz.
- Özel flanş / ek flanşlar
Hazırlanan bağlantılardan daha fazlasının gerekmesi durumunda özel flanşlar kullanılır.
- Özel vakum odaları
DIN 12198 uyarınca tesislerimizde (gözetleme camı) bir UV ışınlanma şiddeti ölçümü yapılmaktadır. Sonuç: sakıncasız. Özel vakum odaları; oda kapağı, yuvarlak örtü, sağ tarafı köşeli ve kapı arasından menteşeli olarak seçilebilir. Alüminyumdan mamuldür ve açma çap ve iç ölçüsü bakımından farklılık gösterir. Bu konuda bizimle irtibata geçiniz.
- Standart elektrodlar yuvarlak veya sağ tarafı köşeli
Standart plazma prosesleri için paslanmaz çelik/alüminyum sacdan mamul.
- TEM numune tutucu
Plazma odasına dışardan giriş in gerekli özel aparat. Her boyda yapılabilir. Lütfen parçalarınızın ölçü/çizimlerinizi bize bildiriniz.
- Isı gösterge cihazı
Isıtma plakası olmadan oda ısısını gösteren ısı göstergesidir. Vakum odasının içine bir ısı duyargacı yerleştirilir. Böylece yapı parçaları yüzey ısısı ölçülebilir. Isı göstergesi, PC kumandasına entegreli olarak da edinilebilir. Burada ısı ekrandan gösterilir.
- Test mürekkepleri seti
Yüzey alan geriliminin basitçe analizde kullanılan test mürekkepleridir. 28, 38, 56, 64, 72 ve 105 mN/m bir takımda mevcuttur. Talebe göre diğer değerler temin edilebilir.
- Termik vaporizatör
Düşük buhar basınçlı malzemeler içindir. Çanak çapı: 16 mm, çanak hacmi: 0,1 l. Plazma etkisine karşı koruma, ısı kontrolü (maks. 500°C) ve ısı yükselme hızı (250°C/dak.’ya kadar). Bağlantı, küçük flanş uygulaması üzerinden yapılır.
- Zamanlayıcı LT4H
Standart zamanlayıcı yerine proses süresinin ayarlanması için.
- Cam vakum odaları (Borosilikat veya kuvars)
Yüksek saflıkta plazma prosesleri için borosilikat camdan mamul vakum odaları,
Ultra yüksek saflıkta plazma prosesleri için kuvars camdan mamul vakum odaları.
- Paslanmaz çelik vakum odaları
Standart plazma prosesleri için paslanmaz çelikten mamul vakum odaları.
- Vakum pompa stantları
Mineral veya PFPE yağlı rotatif disk veya kuru koşum pompası. Pompalar yağ ile doldurulmuş vaziyette sevk edilir.
- Toz işleme düzeneği
Toz, döner bir gaz şişesinde işlenir. Doldurulması için şişe tesisten çıkarılabilir.
- Su soğutması
Mobil kullanım için tekerlekli su-hava soğutması. Pompa koruyucu devresi için bağlantı, izolasyonlu olarak 2 yollu değiştirici kontak ile.
- Plazma tesisiniz için bakım teklifi
Diener electronic bakım teklifi size eksiksiz bir servis imkanı sunar. Yağ değiştirme, tüm bağlantıların kontrol edilmesi, contalar, prizler vs., sızıntı oranı testi, basınç sensorlarının eşitlenmesi ve fonksiyon testi. Bakım ve servis konusunda daha ayrıntılı bilgi için danışma/servis menü sekmesini tıklayınız.
- Çamaşır torbası
Küçük parçaların ön temizliğinin çamaşır makinesinde yapılması için. Boyutlar. 500 mm x 300 mm. Asgari sipariş miktarı: 20 adet.
- Kurutucu
Plazma işlemi öncesinde küçük parçaların ilk temizliğinin yapılması içindir. Sadece çok kirli parçalar için gereklidir. Üretici: Miele: Tip WT 2670 WPM.
- Su soğutmalı ürün taşıma plakası
Su soğutmalı plaka oda tabanına monte edilir ve buna dahil olarak su pompası ve su haznesi sevk edilir. Isıya hassas parçaların soğutmasında kullanılır.
- Ek yazılım fonksiyonları
Yazılım ek opsiyonlar için her zaman geliştirilebilir. Lütfen bu konudaki taleplerinizi bize bildiriniz.
- Ek gaz kanalları
İğne valfler: Tesislerimiz isteğe göre pek çok iğne valfler ile donatılabilir. Tip Femto plazma tesislerinde standart 1-3 adettir. Diğer başka talepler isteğinize göre karşılanır.
- Ek MFC’ler
MFC’ler: PC ve PCCE kumandalarında gereklidir. Tesislerimiz isteğe göre pek çok Mass-Flow-Controller ile (MFC’ler) ile donatılabilir.
Opsiyonlar, çoğu durumda sonradan da donatılabilir. |
)
)
)
)
